Aixtron MOCVD Receptor

ໃນຖານະເປັນຜູ້ຜະລິດແລະຜູ້ສະຫນອງ Aixtron MOCVD Susceptor ມືອາຊີບໃນປະເທດຈີນ, Vetek Semiconductor's Aixtron MOCVD Susceptor ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການປ່ອຍຮູບເງົາບາງໆຂອງການຜະລິດ semiconductor, ໂດຍສະເພາະແມ່ນກ່ຽວຂ້ອງກັບຂະບວນການ MOCVD. Vetek Semiconductor ສຸມໃສ່ການຜະລິດແລະການສະຫນອງຜະລິດຕະພັນ Aixtron MOCVD Susceptor ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ. ຍິນດີຕ້ອນຮັບການສອບຖາມຂອງທ່ານ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

Susceptors ຜະລິດໂດຍVetek Semiconductorແມ່ນເຮັດຈາກ graphite substrate ແລະ silicon carbide (SiC) ອຸປະກອນການເຄືອບ. ເນື່ອງຈາກຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ສູງຂຶ້ນ, ການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນແລະຄວາມແຂງຂອງວັດສະດຸ SiC ສູງ, ມັນເຫມາະສົມໂດຍສະເພາະສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການທີ່ຮຸນແຮງ. ດັ່ງນັ້ນ, Susceptors ທີ່ຜະລິດໂດຍ Vetek Semiconductor ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ໂດຍກົງໃນຂະບວນການ MOCVD ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງໂດຍບໍ່ມີການປິ່ນປົວດ້ານເພີ່ມເຕີມ.

Susceptors ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor, ໂດຍສະເພາະໃນອຸປະກອນ MOCVD ສໍາລັບຂະບວນການຝາກຮູບເງົາບາງໆ. ບົດບາດຕົ້ນຕໍຂອງAixtron SiC ຮັບໃນຂະບວນການ MOCVD ແມ່ນເພື່ອປະຕິບັດ wafers semiconductor, ຮັບປະກັນການຊຶມເຊື້ອຂອງຮູບເງົາບາງໆເປັນເອກະພາບແລະມີຄຸນນະພາບສູງໂດຍການສະຫນອງການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບແລະສະພາບແວດລ້ອມຕິກິຣິຍາ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງບັນລຸການຜະລິດຮູບເງົາບາງທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

Aixtron MOCVD Receptorປົກກະຕິແລ້ວຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນແລະແກ້ໄຂພື້ນຖານຂອງ wafers semiconductor ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງ wafer ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ deposition. ໃນເວລາດຽວກັນ, ການເຄືອບດ້ານຂອງ Aixtron MOCVD Susceptor ແມ່ນເຮັດດ້ວຍ silicon carbide (SiC), ວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມຮ້ອນສູງ. ການເຄືອບ SiC ຮັບປະກັນອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບໃນດ້ານຂອງ wafer, ແລະການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນສໍາລັບການໄດ້ຮັບຮູບເງົາທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ໄດ້Aixtron MOCVD Receptorພວກເຮົາຜະລິດມີບົດບາດຫຼາຍກວ່າເກົ່າໃນການຄວບຄຸມການໄຫຼແລະການແຜ່ກະຈາຍຂອງທາດອາຍຜິດປະຕິກິລິຍາໂດຍຜ່ານການອອກແບບທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງວັດສະດຸ. ຫຼີກເວັ້ນກະແສໄຟຟ້າທີ່ຫຍາບຄາຍ ແລະລະດັບອຸນຫະພູມເພື່ອບັນລຸການຊຶມເຊື້ອຂອງຮູບເງົາທີ່ເປັນເອກະພາບ.

ສິ່ງທີ່ ສຳ ຄັນກວ່ານັ້ນ, ໃນຂະບວນການ MOCVD, ວັດສະດຸເຄືອບ silicon carbide (SiC) ມີຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ.Vetek Semiconductor'sAixtron MOCVD Receptorຍັງສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງແລະທາດອາຍຜິດ corrosive.

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງSIC ການເຄືອບ: