8 Inch Halfmoon Part ສໍາລັບໂຮງງານຜະລິດເຕົາປະຕິກອນ LPE

Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk ຜູ້ຜະລິດ

SiC Coated Barrel Susceptor ສໍາລັບ LPE PE2061S Supplier

ການເຄືອບ Tantalum Carbide

VeTek semiconductor ເປັນຜູ້ຜະລິດຊັ້ນນໍາຂອງອຸປະກອນການເຄືອບ Tantalum Carbide ສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ການສະເຫນີຜະລິດຕະພັນຕົ້ນຕໍຂອງພວກເຮົາປະກອບມີຊິ້ນສ່ວນການເຄືອບ CVD tantalum carbide, ພາກສ່ວນການເຄືອບ TaC sintered ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ SiC ຫຼືຂະບວນການ epitaxy semiconductor. ຜ່ານ ISO9001, VeTek Semiconductor ມີການຄວບຄຸມທີ່ດີກ່ຽວກັບຄຸນນະພາບ. VeTek Semiconductor ແມ່ນອຸທິດຕົນເພື່ອກາຍເປັນຜູ້ປະດິດສ້າງໃນອຸດສາຫະກໍາການເຄືອບ Tantalum Carbide ຜ່ານການຄົ້ນຄວ້າຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງແລະການພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີທີ່ຊ້ໍາກັນ.

ຜະລິດຕະພັນຕົ້ນຕໍແມ່ນ Tantalum Carbide coating defector ring, TaC coated diversion ring, TaC coated halfmoon parts, Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk (Aixtron G10), TaC Coated Crucible; ແຫວນເຄືອບ TaC; TaC ເຄືອບ Porous Graphite; Tantalum Carbide Coating Graphite Susceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalum Carbide ແຜ່ນເຄືອບ; TaC Coated Wafer Susceptor; ວົງການເຄືອບ TaC; TaC Coating Graphite Cover; TaC Coated Chunk ແລະອື່ນໆ, ຄວາມບໍລິສຸດແມ່ນຕ່ໍາກວ່າ 5ppm, ສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ.

TaC coating graphite ຖືກສ້າງຂື້ນໂດຍການເຄືອບພື້ນຜິວຂອງ substrate graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງດ້ວຍຊັ້ນອັນດີງາມຂອງ tantalum carbide ໂດຍຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD) ທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງ. ປະໂຫຍດແມ່ນສະແດງໃຫ້ເຫັນໃນຮູບຂ້າງລຸ່ມນີ້:

ການເຄືອບ tantalum carbide (TaC) ໄດ້ຮັບຄວາມສົນໃຈເນື່ອງຈາກຈຸດລະລາຍສູງເຖິງ 3880 ° C, ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກທີ່ດີເລີດ, ຄວາມແຂງ, ແລະຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ຫນ້າສົນໃຈສໍາລັບຂະບວນການປະສົມ semiconductor epitaxy ທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການອຸນຫະພູມສູງກວ່າ, ເຊັ່ນ: ລະບົບ Aixtron MOCVD ແລະ LPE SiC epitaxy process.It ຍັງມີຄໍາຮ້ອງສະຫມັກກ້ວາງໃນ PVT ວິທີການ SiC ຂະບວນການການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ.

ພາລາມິເຕີຂອງ VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງການເຄືອບ TaC
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	14.3 (g/cm³)
ການປ່ອຍອາຍພິດສະເພາະ	0.3
ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ	6.3 10-6/K
ຄວາມແຂງ (HK)	2000 HK
ການຕໍ່ຕ້ານ	1×10-5 Ohm*ຊມ
ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ	<2500℃
ການປ່ຽນແປງຂະຫນາດຂອງ Graphite	-10~20 ນ
ຄວາມຫນາຂອງເຄືອບ	≥20um ຄ່າປົກກະຕິ (35um±10um)

ຂໍ້ມູນການເຄືອບ TaC EDX

ຂໍ້ມູນໂຄງສ້າງການເຄືອບ TaC

ອົງປະກອບ	ເປີເຊັນປະລໍາມະນູ
	ປທ. 1	ປທ. 2	ປທ. 3	ສະເລ່ຍ
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
ຕາ ມ	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC ເຄືອບ Chuck TaC Coating Planetary Disk ແຜ່ນເຄືອບ TaC ແຜ່ນຫມຸນການເຄືອບ TaC TaC coating suceptor ຝາປິດການເຄືອບ CVD TaC ວົງການເຄືອບ CVD TaC ແຜ່ນເຄືອບ TaC

ການເຄືອບ Silicon Carbide

VeTek Semiconductor ຊ່ຽວຊານໃນການຜະລິດຜະລິດຕະພັນການເຄືອບ Silicon Carbide ບໍລິສຸດ ultra, ການເຄືອບເຫຼົ່ານີ້ຖືກອອກແບບມາເພື່ອນໍາໃຊ້ກັບ graphite ບໍລິສຸດ, ceramics, ແລະອົງປະກອບໂລຫະ refractory.

ການເຄືອບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງພວກເຮົາແມ່ນເປົ້າຫມາຍຕົ້ນຕໍສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ແລະເອເລັກໂຕຣນິກ. ພວກເຂົາເຈົ້າເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນຊັ້ນປ້ອງກັນສໍາລັບຜູ້ຂົນສົ່ງ wafer, susceptors, ແລະອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນ, ປົກປ້ອງພວກເຂົາຈາກສະພາບແວດລ້ອມທີ່ກັດກ່ອນແລະປະຕິກິລິຍາທີ່ພົບໃນຂະບວນການເຊັ່ນ MOCVD ແລະ EPI. ຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນສໍາຄັນຕໍ່ການປຸງແຕ່ງ wafer ແລະການຜະລິດອຸປະກອນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ການເຄືອບຂອງພວກເຮົາແມ່ນເຫມາະສົມກັບການນໍາໃຊ້ໃນ furnace ສູນຍາກາດແລະການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຕົວຢ່າງ, ບ່ອນທີ່ມີສູນຍາກາດສູງ, reactive, ແລະອົກຊີເຈນທີ່ສະພາບແວດລ້ອມໄດ້ພົບ.

ທີ່ VeTek Semiconductor, ພວກເຮົາສະເຫນີການແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບດ້ວຍຄວາມສາມາດຂອງຮ້ານເຄື່ອງທີ່ກ້າວຫນ້າຂອງພວກເຮົາ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ພວກເຮົາສາມາດຜະລິດອົງປະກອບພື້ນຖານໂດຍໃຊ້ graphite, ceramics, ຫຼືໂລຫະ refractory ແລະນໍາໃຊ້ SiC ຫຼື TaC ເຄືອບເຊລາມິກໃນເຮືອນ. ພວກເຮົາຍັງໃຫ້ບໍລິການເຄືອບສໍາລັບພາກສ່ວນທີ່ລູກຄ້າສະຫນອງ, ຮັບປະກັນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ຫຼາກຫຼາຍ.

ຜະລິດຕະພັນການເຄືອບ Silicon Carbide ຂອງພວກເຮົາຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ Si epitaxy, SiC epitaxy, ລະບົບ MOCVD, ຂະບວນການ RTP / RTA, ຂະບວນການ etching, ICP / PSS etching, ຂະບວນການຂອງປະເພດ LED ຕ່າງໆ, ລວມທັງ LED ສີຟ້າແລະສີຂຽວ, UV LED ແລະ deep-UV. LED ແລະອື່ນໆ, ເຊິ່ງປັບຕົວເຂົ້າກັບອຸປະກອນຈາກ LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI ແລະອື່ນໆ.

ພາກສ່ວນເຄື່ອງປະຕິກອນພວກເຮົາສາມາດເຮັດໄດ້:

ການເຄືອບ Silicon Carbide ມີຂໍ້ດີທີ່ເປັນເອກະລັກຫຼາຍ:

VeTek Semiconductor ຕົວກໍານົດການເຄືອບ Silicon Carbide:

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງການເຄືອບ CVD SiC
ຄຸນສົມບັດ	ຄ່າປົກກະຕິ
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ	FCC βໄລຍະ polycrystalline, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນ (111) ຮັດກຸມ
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	3.21 g/cm³
ຄວາມແຂງ	ຄວາມແຂງຂອງ Vickers 2500 (ໂຫຼດ 500g)
ເມັດ SiZe	2-10 ມມ
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	99.99995%
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	640 J·kg-1·K-1
ອຸນຫະພູມ sublimation	2700℃
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural	415 MPa RT 4 ຈຸດ
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ	300W·m-1·K-1
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE)	4.5×10-6K-1

ຜະລິດຕະພັນທີ່ໂດດເດັ່ນ

ກ່ຽວກັບພວກເຮົາ

VeTek semiconductor Technology Co., LTD, ກໍ່ຕັ້ງຂຶ້ນໃນປີ 2016, ເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຊັ້ນນໍາຂອງວັດສະດຸເຄືອບຊັ້ນສູງສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ຜູ້ກໍ່ຕັ້ງຂອງພວກເຮົາ, ອະດີດຜູ້ຊ່ຽວຊານຈາກສະຖາບັນວັດສະດຸຂອງສະຖາບັນວິທະຍາສາດຈີນ, ໄດ້ສ້າງຕັ້ງບໍລິສັດໂດຍສຸມໃສ່ການພັດທະນາການແກ້ໄຂທີ່ທັນສະໄຫມສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ.

ການສະເຫນີຜະລິດຕະພັນຕົ້ນຕໍຂອງພວກເຮົາປະກອບມີການເຄືອບ CVD silicon carbide (SiC)., ການເຄືອບ tantalum carbide (TaC)., ຝຸ່ນ SiC, SiC ສ່ວນໃຫຍ່, ແລະວັດສະດຸ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ. ຜະລິດຕະພັນຕົ້ນຕໍແມ່ນ SiC coated graphite susceptor, preheat rings, TaC coated diversion ring, halfmoon parts, ແລະອື່ນໆ, ຄວາມບໍລິສຸດແມ່ນຕ່ໍາກວ່າ 5ppm, ສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ.

ອ່ານຕື່ມ