VeTek Semiconductor's CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor ເປັນເຄື່ອງມືທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ອອກແບບມາສໍາລັບການຈັດການແລະການປຸງແຕ່ງ wafer semiconductor. ນີ້ SiC Coating Epitaxy Susceptor ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການສົ່ງເສີມການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຮູບເງົາບາງ, epilayers, ແລະການເຄືອບອື່ນໆ, ແລະຊັດເຈນສາມາດຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແລະຄຸນສົມບັດວັດສະດຸ. ຍິນດີຕ້ອນຮັບການສອບຖາມເພີ່ມເຕີມຂອງທ່ານ.
CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor ເປັນປະເພດຂອງMOCVD LED Epi Suceptor, ເຊິ່ງມີບົດບາດສໍາຄັນໃນເຕົາປະຕິກອນ CVD. ໃນຖານະເປັນ Epi Susceptor, ມັນບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນແຫຼ່ງຄວາມຮ້ອນ, ແຕ່ຍັງສະຫນອງເວທີສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບ substrate ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ deposition.ການເຄືອບ SiCປະສິດທິຜົນສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການຜຸພັງແລະການປົນເປື້ອນຂອງ Graphite Susceptor ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ດັ່ງນັ້ນການຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງວັດສະດຸທີ່ຝາກໄວ້.
ພື້ນຖານຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງການເຄືອບ CVD SiC:
ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງການເຄືອບ CVD SiC
ຊັບສິນ
ຄ່າປົກກະຕິ
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ
FCC βໄລຍະ polycrystalline, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນ (111) ຮັດກຸມ
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ
3.21 g/cm³
ຄວາມແຂງ
ຄວາມແຂງຂອງ Vickers 2500 (ໂຫຼດ 500g)
ຂະໜາດເມັດພືດ
2-10 ມມ
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ
99.99995%
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ
640 J·kg-1· ຄ-1
ອຸນຫະພູມ sublimation
2700℃
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural
415 MPa RT 4 ຈຸດ
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ
430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ
300W·m-1· ຄ-1
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE)
4.5×10-6K-1
CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor ຂໍ້ດີຂອງຜະລິດຕະພັນ:
● ການຝາກເງິນທີ່ຊັດເຈນ: ດ້ວຍ CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor, ທ່ານສາມາດບັນລຸການກັກຕົວຂອງຮູບເງົາບາງໆແລະການເຄືອບທີ່ມີການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຜົນໄດ້ຮັບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະເຮັດຊ້ໍາອີກ.
● ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ: ການເຄືອບ SiC ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນຈາກEpi Suceptorອີງ Graphite, ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸເງິນຝາກ.
● ຄວາມທົນທານ: ການເຄືອບ SiC ເສີມຂະຫຍາຍການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງແລະການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນທາງເຄມີຂອງ Graphite Epitaxy Susceptor, ເຮັດໃຫ້ມັນມີອາຍຸການບໍລິການທີ່ຍາວນານແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືທີ່ສູງຂຶ້ນ.
VeTek Semiconductorມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນຖ້າ EPI ຮັບຫຼືຄວາມບໍລິສຸດສູງ Graphite EPI Susceptor, ພວກເຮົາສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງທ່ານ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະໄດ້ເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.
VeTek SemiconductorCVD SiC Coating Epitaxy Susceptor ຮ້ານຜະລິດຕະພັນ: