Nozzle CVD SiC ເຄືອບ
  • Nozzle CVD SiC ເຄືອບNozzle CVD SiC ເຄືອບ

Nozzle CVD SiC ເຄືອບ

Nozzles ເຄືອບ CVD SiC ຂອງ Vetek Semiconductor ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ LPE SiC epitaxy ສໍາລັບການຝາກວັດສະດຸ silicon carbide ໃນລະຫວ່າງການຜະລິດ semiconductor. ທໍ່ຫົວເຫຼົ່ານີ້ປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸ silicon carbide ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນສະພາບແວດລ້ອມການປຸງແຕ່ງທີ່ຮຸນແຮງ. ອອກແບບມາສໍາລັບການປະທັບຕາເປັນເອກະພາບ, ພວກເຂົາເຈົ້າມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຊັ້ນ epitaxial ປູກໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ semiconductor. ຫວັງວ່າຈະສ້າງຕັ້ງການຮ່ວມມືໃນໄລຍະຍາວກັບທ່ານ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍ​ລະ​ອຽດ​ຜະ​ລິດ​ຕະ​ພັນ

VeTek Semiconductor ເປັນຜູ້ຜະລິດພິເສດຂອງອຸປະກອນເສີມການເຄືອບ CVD SiC ສໍາລັບອຸປະກອນ epitaxial ເຊັ່ນ CVD SiC Coating halfmoon parts ແລະອຸປະກອນເສີມຂອງມັນ CVD SiC Coating Nozzels.Welcome to inquiry us.


PE1O8 ແມ່ນລະບົບຕ່ອງໂສ້ອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມສ່ວນກັບລະບົບຕະຫລັບຫມຶກທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຈັດການSiC wafersເຖິງ 200 ມມ. ຮູບແບບສາມາດປ່ຽນໄດ້ລະຫວ່າງ 150 ແລະ 200 ມມ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາການຢຸດເຄື່ອງ. ການຫຼຸດລົງຂອງຂັ້ນຕອນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນເພີ່ມຜົນຜະລິດ, ໃນຂະນະທີ່ອັດຕະໂນມັດຫຼຸດຜ່ອນແຮງງານແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບແລະການເຮັດຊ້ໍາອີກ. ເພື່ອຮັບປະກັນຂະບວນການ epitaxy ທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະມີການແຂ່ງຂັນດ້ານຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ, ສາມປັດໃຈຕົ້ນຕໍແມ່ນໄດ້ຖືກລາຍງານ: 


●  ຂະບວນການໄວ;

●  ຄວາມເປັນເອກະພາບສູງຂອງຄວາມໜາ ແລະຝຸ່ນ;

●  ການຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງຂໍ້ບົກພ່ອງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ epitaxy. 


ໃນ PE1O8, ມະຫາຊົນ graphite ຂະຫນາດນ້ອຍແລະລະບົບການໂຫຼດ / unload ອັດຕະໂນມັດຊ່ວຍໃຫ້ການແລ່ນມາດຕະຖານສໍາເລັດໃນເວລາຫນ້ອຍກວ່າ 75 ນາທີ (ຮູບແບບມາດຕະຖານ Schottky 10μmໃຊ້ອັດຕາການເຕີບໂຕຂອງ 30μm / h). ລະບົບອັດຕະໂນມັດອະນຸຍາດໃຫ້ໂຫຼດ / unloading ໃນອຸນຫະພູມສູງ. ດັ່ງນັ້ນ, ເວລາເຮັດຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນແມ່ນສັ້ນ, ໃນຂະນະທີ່ຂັ້ນຕອນການອົບໄດ້ຖືກຂັດຂວາງ. ເງື່ອນໄຂທີ່ເຫມາະສົມນີ້ອະນຸຍາດໃຫ້ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງວັດສະດຸທີ່ບໍ່ມີການຢຸດເຊົາທີ່ແທ້ຈິງ.


ໃນຂະບວນການຂອງ silicon carbide epitaxy, CVD SiC Coating Nozzles ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການເຕີບໂຕແລະຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນ epitaxial. ນີ້ແມ່ນຄໍາອະທິບາຍຂະຫຍາຍຂອງບົດບາດຂອງ nozzles ໃນຊິລິຄອນ carbide epitaxy:


CVD SiC Coating Nozzle working diagram

● ການສະໜອງ ແລະການຄວບຄຸມອາຍແກັສ: Nozzles ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອສົ່ງປະສົມອາຍແກັສທີ່ຕ້ອງການໃນລະຫວ່າງການ epitaxy, ລວມທັງອາຍແກັສແຫຼ່ງຊິລິໂຄນແລະອາຍແກັສແຫຼ່ງກາກບອນ. ໂດຍຜ່ານ nozzles, ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສແລະອັດຕາສ່ວນສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ຊັດເຈນເພື່ອຮັບປະກັນການຂະຫຍາຍຕົວເປັນເອກະພາບຂອງຊັ້ນ epitaxial ແລະອົງປະກອບທາງເຄມີທີ່ຕ້ອງການ.


● ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ: Nozzles ຍັງຊ່ວຍໃນການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມພາຍໃນເຄື່ອງປະຕິກອນ epitaxy ໄດ້. ໃນ epitaxy silicon carbide, ອຸນຫະພູມແມ່ນປັດໃຈສໍາຄັນທີ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ອັດຕາການເຕີບໂຕແລະຄຸນນະພາບຂອງຜລຶກ. ໂດຍການສະຫນອງຄວາມຮ້ອນຫຼືອາຍແກັສເຢັນໂດຍຜ່ານ nozzles, ອຸນຫະພູມການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊັ້ນ epitaxial ສາມາດປັບໄດ້ສໍາລັບເງື່ອນໄຂການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ດີທີ່ສຸດ.


● ການແຈກຢາຍການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ: ການອອກແບບຂອງ nozzles ມີອິດທິພົນຕໍ່ການແຜ່ກະຈາຍຂອງອາຍແກັສເປັນເອກະພາບພາຍໃນເຕົາປະຕິກອນ. ການແຜ່ກະຈາຍຂອງອາຍແກັສທີ່ເປັນເອກະພາບຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຊັ້ນ epitaxial ແລະຄວາມຫນາທີ່ສອດຄ່ອງ, ຫຼີກເວັ້ນບັນຫາທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບຄຸນນະພາບຂອງວັດສະດຸທີ່ບໍ່ສອດຄ່ອງ.


● ການປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນ impurity: ການອອກແບບທີ່ເຫມາະສົມແລະການນໍາໃຊ້ nozzles ສາມາດຊ່ວຍປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນ impurity ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ epitaxy ໄດ້. ການອອກແບບ nozzle ທີ່ເຫມາະສົມຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງ impurities ພາຍນອກເຂົ້າໄປໃນເຕົາປະຕິກອນ, ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດແລະຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນ epitaxial.


ໂຄງສ້າງ CVD SIC CRYSTAL COATING FILM:


CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງການເຄືອບ CVD SiC:


ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງການເຄືອບ CVD SiC
ຊັບສິນ ຄ່າປົກກະຕິ
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ FCC βໄລຍະ polycrystalline, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນ (111) ຮັດກຸມ
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງເຄືອບ SiC 3.21 g/cm³
ຄວາມແຂງ ຄວາມແຂງຂອງ Vickers 2500 (ໂຫຼດ 500g)
ເມັດ SiZe 2-10 ມມ
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ 99.99995%
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ 640 J·kg-1· ຄ-1
ອຸນຫະພູມ sublimation 2700℃
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural 415 MPa RT 4 ຈຸດ
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ 430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ 300W·m-1· ຄ-1
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE) 4.5×10-6K-1


VeTekSemຫົວສີດເຄືອບ CVD SiCຮ້ານ​ຜະ​ລິດ​:


Graphite epitaxial substrateSemiconductor EquipmentGraphite ring assemblySemiconductor process equipment

Hot Tags: CVD SiC Coating Nozzle, ຈີນ, ຜູ້ຜະລິດ, ຜູ້ສະຫນອງ, ໂຮງງານຜະລິດ, ປັບແຕ່ງ, SiC ເຄືອບ Nozzle, ກ້າວຫນ້າ, ທົນທານ, ຜະລິດໃນປະເທດຈີນ
ປະເພດທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ
ສົ່ງສອບຖາມ
ກະລຸນາຮູ້ສຶກວ່າບໍ່ເສຍຄ່າເພື່ອໃຫ້ການສອບຖາມຂອງທ່ານໃນແບບຟອມຂ້າງລຸ່ມນີ້. ພວກເຮົາຈະຕອບກັບທ່ານໃນ 24 ຊົ່ວໂມງ.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept