Semiconductor Quartz Bell Jar

ແກ່ນເຊມິຄອນດັກເຕີກະປຸກ Quartz Bellມີບົດບາດສໍາຄັນຫຼາຍໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor. ໄດ້ ລະບົບສູນຍາກາດ bell jarບໍ່ພຽງແຕ່ສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມຕິກິຣິຍາທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຄວບຄຸມ, ແຕ່ຍັງຮັບປະກັນປະສິດທິພາບແລະຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງຂະບວນການຕ່າງໆໂດຍຜ່ານຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, inertness ເຄມີແລະຄວາມໂປ່ງໃສ optical. ຄຸນລັກສະນະເຫຼົ່ານີ້ຍັງກໍານົດວ່າbell ຫ້ອງສູນຍາກາດແມ່ນຜະລິດຕະພັນສ່ວນປະກອບທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນຂະບວນການຜະລິດເຊມິຄອນດັກເຕີ.

ແກ່ນSemiconductor Quartz ສ້າງສະພາບແວດລ້ອມການປຸງແຕ່ງທີ່ຜະນຶກເຂົ້າກັນເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ອາຍແກັສຂອງຂະບວນການຖືກແຈກຢາຍຢ່າງເທົ່າທຽມກັນແລະປະຕິກິລິຍາກັບຫນ້າດິນ wafer ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ຄວບຄຸມ. ດັ່ງນັ້ນ,Semiconductor ກະປຸກ Quartz Bellປົກກະຕິແລ້ວຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການເຊັ່ນ CVD, ການແຜ່ກະຈາຍແລະການຜຸພັງເພື່ອຄວບຄຸມອົງປະກອບຂອງບັນຍາກາດແລະຄວາມກົດດັນຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ດັ່ງນັ້ນການຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຮູບເງົາແລະຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ.

ໃນເວລາດຽວກັນ, ວັດສະດຸ quartz ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ການຕໍ່ຕ້ານອຸນຫະພູມສູງ (ສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມສູງໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor ປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນສູງເຖິງ 1000 ° C ຫຼືຫຼາຍກວ່ານັ້ນ), ແລະຄຸນລັກສະນະຜະລິດຕະພັນຂອງການຮັກສາຮູບຮ່າງແລະຂະຫນາດທີ່ຫມັ້ນຄົງໃນລະຫວ່າງການເຮັດຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນ. ນີ້ກໍານົດວ່າກະປຸກ Quartz Bellຢ່າງເຕັມສ່ວນສາມາດຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງອຸນຫະພູມຫນ້າດິນ wafer ໃນສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມສູງຂອງການແຜ່ກະຈາຍແລະການຜຸພັງ, ດັ່ງນັ້ນການປັບປຸງຄຸນນະພາບແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຊັ້ນເງິນຝາກຫຼືການແຜ່ກະຈາຍ.

ສໍາຄັນກວ່ານັ້ນ,ແກ່ນSemiconductor quartz ຄວາມບໍລິສຸດສູງ ບໍ່ງ່າຍທີ່ຈະ react ກັບທາດອາຍຜິດຂະບວນການໃນສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມສູງແລະມີຄວາມຕ້ານທານ corrosion ທີ່ເຂັ້ມແຂງ. ຄຸນລັກສະນະຂອງຜະລິດຕະພັນນີ້ກໍານົດວ່າໃນຂະບວນການນໍາໃຊ້ທາດອາຍຜິດ corrosive (ເຊັ່ນ: ບາງຂະບວນການ CVD),Semiconductor ກະປຸກ Quartz Bellສາມາດຮັກສາສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີຢ່າງເຕັມສ່ວນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຫຼີກເວັ້ນການປົນເປື້ອນຂອງອຸປະກອນ semiconductor.

VeTek Semiconductorກະປຸກ Quartz Bell:

ພາບລວມຂອງລະບົບຕ່ອງໂສ້ອຸດສາຫະກໍາຊິບ semiconductor epitaxy: