SiC Coated ICP ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ Etching

VeTek Semiconductor's SiC Coated ICP Etching Carrier ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກອຸປະກອນ epitaxy ທີ່ຕ້ອງການຫຼາຍທີ່ສຸດ. ຜະລິດຈາກວັດສະດຸກຼາຟີ້ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສຸດ, ເຄື່ອງບັນຈຸ ICP ເຄືອບສີ SiC ຂອງພວກເຮົາມີພື້ນຜິວຮາບພຽງສູງ ແລະການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນດີເລີດເພື່ອທົນກັບສະພາບທີ່ຮຸນແຮງໃນລະຫວ່າງການຈັບ. ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງຂອງ SiC coated carrier ຮັບປະກັນເຖິງແມ່ນວ່າການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນສໍາລັບຜົນໄດ້ຮັບ etching ທີ່ດີເລີດ. VeTek Semiconductor ຫວັງວ່າຈະສ້າງການຮ່ວມມືໃນໄລຍະຍາວກັບທ່ານ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ດ້ວຍປະສົບການຫຼາຍປີໃນການຜະລິດ SiC Coated ICP Etching Carrier, VeTek Semiconductor ສາມາດສະໜອງໄດ້ຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ.SiC ເຄືອບຫຼືTaC ເຄືອບອາໄຫຼ່ສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ນອກເຫນືອໄປຈາກລາຍການຜະລິດຕະພັນຂ້າງລຸ່ມນີ້, ທ່ານຍັງສາມາດປັບແຕ່ງສ່ວນທີ່ເຄືອບ SiC ຫຼື TaC ທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງທ່ານເອງຕາມຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງທ່ານ. ຍິນດີຕ້ອນຮັບການສອບຖາມພວກເຮົາ.

VeTek Semiconductor's SiC Coated ICP Etching Carrier, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າ ICP carriers, PSS carriers, RTP carriers, or RTP carrier, are important components used in a variety of applications in the semiconductor industry. Silicon carbide coated graphite ແມ່ນວັດສະດຸຕົ້ນຕໍທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດບັນທຸກໃນປະຈຸບັນເຫຼົ່ານີ້. ມັນມີການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ຫຼາຍກ່ວາ 10 ເທົ່າຂອງຄວາມຮ້ອນຂອງ substrate sapphire. ຄຸນສົມບັດນີ້, ບວກກັບຄວາມເຂັ້ມແຂງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ roller ສູງແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງປະຈຸບັນສູງສຸດ, ໄດ້ກະຕຸ້ນການຂຸດຄົ້ນຂອງ silicon carbide ເປັນການທົດແທນທີ່ມີທ່າແຮງຂອງຊິລິໂຄນໃນຫຼາຍຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ, ໂດຍສະເພາະໃນ semiconductor ອົງປະກອບພະລັງງານສູງ. SiC ແຜ່ນບັນທຸກໃນປະຈຸບັນມີການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການຂະບວນການຜະລິດ LED.

ພວກເຂົາຮັບປະກັນການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະສະຫນອງການນໍາໄຟຟ້າທີ່ດີເລີດ, ປະກອບສ່ວນໃນການຜະລິດນໍາທີ່ມີພະລັງງານສູງ. ນອກຈາກນັ້ນ, ແຜ່ນບັນທຸກເຫຼົ່ານີ້ມີທີ່ດີເລີດຄວາມຕ້ານທານ plasmaແລະຊີວິດການບໍລິການຍາວ, ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ແລະຊີວິດໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ semiconductor ທີ່ຕ້ອງການ.

ຕົວກໍານົດການຜະລິດຕະພັນຂອງ SiC Coated ICP Etching Carrier:

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງການເຄືອບ CVD SiC
ຊັບສິນ	ຄ່າປົກກະຕິ
Crystal Structure	FCC βໄລຍະ polycrystalline, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນ (111) ຮັດກຸມ
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	3.21 g/cm³
ຄວາມແຂງ	ຄວາມແຂງຂອງ Vickers 2500 (ໂຫຼດ 500g)
ເມັດ SiZe	2-10 ມມ
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	99.99995%
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	640 J·kg^-1· ຄ^-1
ອຸນຫະພູມ sublimation	2700℃
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural	415 MPa RT 4 ຈຸດ
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ	300W·m^-1· ຄ^-1
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE)	4.5×10-6K^-1