ເຄື່ອງຮັບ Epi Coating SiC

Vetek Semiconductor ແມ່ນຜູ້ຜະລິດມືອາຊີບໃນປະເທດຈີນສໍາລັບການເຄືອບ SiC Epi Susceptor.

SiC Coating Epi Susceptor ຂອງ VeTek Semiconductor ແມ່ນເຮັດດ້ວຍ graphite ແລະ silicon carbide. ຜະລິດຕະພັນການເຄືອບ SiC ນີ້ໃຊ້ graphite ທີ່ນໍາເຂົ້າ, ເຊິ່ງມີການປະຕິບັດທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານ, ແລະໄດ້ຮັບການຍົກຍ້ອງສູງຈາກລູກຄ້າເອີຣົບແລະອາເມລິກາຂອງພວກເຮົາ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງ SiC Coating Epi susceptor ແມ່ນຕໍ່າກວ່າ 5ppm, ແລະຄວາມສອດຄ່ອງແມ່ນດີຫຼາຍ. ຫຼັງຈາກການຍົກລະດັບເຕັກໂນໂລຢີຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, VeTek Semiconductor ໃຊ້ຂະບວນການໃຫມ່ເພື່ອສ້າງຄວາມສອດຄ່ອງທີ່ດີລະຫວ່າງຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງ SiC Coating ແລະວັດສະດຸ graphite.

SiC Coating Epi Susceptor ຖືກນໍາໃຊ້ເປັນພິເສດໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມ corrosive ໃນອຸປະກອນ semiconductor. SiC Coating Epi susceptor ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນອຸປະກອນເຊັ່ນ AIXTRON, ໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການ epitaxy ultraviolet (DUV Epitaxy), ມີບົດບາດສໍາຄັນ.

ໃນຂະບວນການ epitaxy ultraviolet ເລິກ (DUV Epitaxy), ສົມທົບກັບຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ຂອງ SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Epi Susceptor ປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນໄດ້ຖືກຕິດຕັ້ງຮອບຫ້ອງຕິກິຣິຍາໃນອຸປະກອນ AIXTRON ເປັນບັນທຸກໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ epitaxy ຈາກ. ທໍາລາຍຫຼືປົນເປື້ອນອຸປະກອນ.

ໂຕຕ້ານອະນຸມູນອິດສະລະ Epi ເຄືອບ SiC ນີ້ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບ epitaxy ultraviolet ເລິກ. ພວກເຮົາຄວບຄຸມການເຄືອບ silicon carbide ຢ່າງເຂັ້ມງວດ, ລວມເອົາເທກໂນໂລຍີຊັ້ນ buffer ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນບັນຫາທີ່ເກີດຈາກຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງ graphite ແລະ silicon carbide coatings, ດັ່ງນັ້ນການຍືດອາຍຸຂອງຜະລິດຕະພັນ. ປະຈຸບັນ, ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາໄດ້ຮັບການຊົມເຊີຍຈໍານວນຫລາຍແລະໄດ້ຮັບການຍອມຮັບວ່າເປັນຫນຶ່ງທີ່ດີທີ່ສຸດໃນຕະຫຼາດພາຍໃນ.

ໃນຖານະເປັນຜູ້ນໍາອຸດສາຫະກໍາໃນຜະລິດຕະພັນ SiC Coating, VeTek Semiconductor ສະຫນັບສະຫນູນການບໍລິການປັບແຕ່ງຜະລິດຕະພັນແລະລາຄາຜະລິດຕະພັນທີ່ຫນ້າພໍໃຈ, ແລະຫວັງວ່າຈະໄດ້ປຶກສາຫາລືຕື່ມອີກຂອງທ່ານ.

ຂໍ້ມູນ SEM ຂອງ CVD SIC FILM:

VeTek Semiconductor SiC Coating Skirt ຮ້ານຄ້າຜະລິດຕະພັນ:

ສະພາບລວມຂອງລະບົບຕ່ອງໂສ້ອຸດສາຫະກໍາ epitaxy chip semiconductor: