VeTek Semiconductor, ຜູ້ຜະລິດຊັ້ນນໍາຂອງການເຄືອບ CVD SiC, ສະເຫນີແຜ່ນ SiC Coating Set ໃນ Aixtron MOCVD Reactors. ແຜ່ນ SiC Coating Set ເຫຼົ່ານີ້ຖືກສ້າງຂື້ນໂດຍໃຊ້ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະມີຄຸນສົມບັດການເຄືອບ CVD SiC ທີ່ມີ impurity ຕ່ໍາກວ່າ 5ppm. ພວກເຮົາຍິນດີຕ້ອນຮັບການສອບຖາມກ່ຽວກັບຜະລິດຕະພັນນີ້.
VeTek Semiconductor ແມ່ນຜູ້ຜະລິດແລະຜູ້ສະຫນອງການເຄືອບ SiC ຂອງຈີນທີ່ຜະລິດແຜ່ນ SiC Coating Set, ຜູ້ເກັບລວບລວມ, susceptor ທີ່ມີປະສົບການຫຼາຍປີ. ຫວັງວ່າຈະສ້າງຄວາມສໍາພັນທາງທຸລະກິດກັບທ່ານ.
Aixtron SiC Coating Set Disc ເປັນຜະລິດຕະພັນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບການນໍາໃຊ້ທີ່ຫລາກຫລາຍ. ຊຸດດັ່ງກ່າວແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸ graphite ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ມີການເຄືອບປ້ອງກັນ silicon carbide (SiC).
ການເຄືອບ silicon carbide (SiC) ຢູ່ດ້ານຂອງແຜ່ນມີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສໍາຄັນຈໍານວນຫນຶ່ງ. ກ່ອນອື່ນ ໝົດ, ມັນຊ່ວຍປັບປຸງການ ນຳ ໃຊ້ຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸ graphite ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ບັນລຸການ ນຳ ໃຊ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນ. ນີ້ຮັບປະກັນຄວາມຮ້ອນຫຼືຄວາມເຢັນຂອງແຜ່ນດິດທັງຫມົດໃນລະຫວ່າງການໃຊ້ງານ, ສົ່ງຜົນໃຫ້ປະສິດທິພາບທີ່ສອດຄ່ອງ.
ອັນທີສອງ, ການເຄືອບ silicon carbide (SiC) ມີ inertness ເຄມີທີ່ດີເລີດ, ເຮັດໃຫ້ແຜ່ນດິດມີຄວາມທົນທານສູງຕໍ່ການກັດກ່ອນ. ການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນນີ້ຮັບປະກັນຄວາມທົນທານແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງແຜ່ນດິດ, ເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງແລະ corrosive, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຫຼາຍໆສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ.
ນອກຈາກນັ້ນ, ການເຄືອບ silicon carbide (SiC) ປັບປຸງຄວາມທົນທານໂດຍລວມແລະການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ຂອງແຜ່ນດິດ. ຊັ້ນປ້ອງກັນນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ແຜ່ນທົນທານຕໍ່ການນໍາໃຊ້ຊ້ໍາຊ້ອນ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ຄວາມເສຍຫາຍຫຼືການເຊື່ອມໂຊມທີ່ອາດຈະເກີດຂື້ນໃນໄລຍະເວລາ. ການປັບປຸງຄວາມທົນທານຮັບປະກັນການປະຕິບັດໃນໄລຍະຍາວແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຊຸດແຜ່ນ.
Aixtron SiC Coating Set Discs ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດ semiconductor, ການປຸງແຕ່ງສານເຄມີແລະຫ້ອງທົດລອງຄົ້ນຄ້ວາ. ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີແລະຄວາມທົນທານເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ສໍາຄັນຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນແລະສະພາບແວດລ້ອມຕ້ານ corrosion.
ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງການເຄືອບ CVD SiC | |
ຄຸນສົມບັດ | ຄ່າປົກກະຕິ |
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ | FCC βໄລຍະ polycrystalline, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນ (111) ຮັດກຸມ |
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ | 3.21 g/cm³ |
ຄວາມແຂງ | ຄວາມແຂງຂອງ Vickers 2500 (ໂຫຼດ 500g) |
ເມັດ SiZe | 2-10 ມມ |
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ | 99.99995% |
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ | 640 J·kg-1·K-1 |
ອຸນຫະພູມ sublimation | 2700℃ |
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural | 415 MPa RT 4 ຈຸດ |
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ | 430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃ |
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ | 300W·m-1·K-1 |
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE) | 4.5×10-6K-1 |