TaC Coated Graphite Susceptor

TaC Coated Graphite Susceptor ຂອງ VeTek Semiconductor ໃຊ້ວິທີການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD) ເພື່ອກະກຽມການເຄືອບ tantalum carbide ເທິງຫນ້າດິນຂອງຊິ້ນສ່ວນ graphite. ຂະບວນການນີ້ແມ່ນແກ່ທີ່ສຸດແລະມີຄຸນສົມບັດການເຄືອບທີ່ດີທີ່ສຸດ. TaC Coated Graphite Susceptor ສາມາດຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງອົງປະກອບ graphite, ຍັບຍັ້ງການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງ impurities graphite, ແລະຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງ epitaxy. VeTek Semiconductor ກໍາລັງຊອກຫາຕໍ່ກັບການສອບຖາມຂອງທ່ານ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ທ່ານຍິນດີຕ້ອນຮັບທີ່ເຂົ້າມາທີ່ໂຮງງານຜະລິດຂອງພວກເຮົາ VeTek Semiconductor ເພື່ອຊື້ເຄື່ອງຂາຍຫລ້າສຸດ, ລາຄາຕໍ່າ, ແລະຄຸນນະພາບສູງ TaC Coated Graphite Susceptor. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະໄດ້ຮ່ວມມືກັບທ່ານ.

Tantalum carbide ວັດສະດຸເຊລາມິກຈຸດ melting ເຖິງ 3880 ℃, ເປັນຈຸດ melting ສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີຂອງສານປະສົມ, ສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມສູງຂອງຕົນຍັງສາມາດຮັກສາປະສິດທິພາບທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ນອກຈາກນັ້ນ, ມັນຍັງມີຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ສານເຄມີທີ່ດີ. ແລະຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງກົນຈັກກັບວັດສະດຸຄາບອນແລະລັກສະນະອື່ນໆ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸເຄືອບປ້ອງກັນ graphite substrate ທີ່ເຫມາະສົມ. ການເຄືອບ tantalum carbide ປະສິດທິພາບສາມາດປ້ອງກັນອົງປະກອບ graphite ຈາກອິດທິພົນຂອງ ammonia ຮ້ອນ, hydrogen ແລະ silicon vapor ແລະໂລຫະ molten ໃນສະພາບແວດລ້ອມການນໍາໃຊ້ harsh, ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງອົງປະກອບ graphite, ແລະຍັບຍັ້ງການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງ impurities ໃນ graphite ໄດ້, ການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງ epitaxy ແລະການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ. ມັນຖືກນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍໃນຂະບວນການເຊລາມິກປຽກ.

ການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD) ແມ່ນວິທີການກະກຽມທີ່ແກ່ທີ່ສຸດແລະດີທີ່ສຸດສໍາລັບການເຄືອບ tantalum carbide ເທິງຫນ້າຂອງ graphite.

ວິທີການເຄືອບ CVD TaC ສໍາລັບ TaC coated Graphite Susceptor:

ຂະບວນການເຄືອບໃຊ້ TaCl5 ແລະ propylene ເປັນແຫຼ່ງກາກບອນແລະແຫຼ່ງ tantalum ຕາມລໍາດັບ, ແລະ argon ເປັນອາຍແກັສຂົນສົ່ງເພື່ອນໍາ vapor tantalum pentachloride ເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາຫຼັງຈາກ gasification ອຸນຫະພູມສູງ. ພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມແລະຄວາມກົດດັນເປົ້າຫມາຍ, vapor ຂອງອຸປະກອນການຄາຣະວາແມ່ນ adsorbed ດ້ານຂອງພາກສ່ວນ graphite ໄດ້, ແລະຊຸດຂອງຕິກິຣິຍາເຄມີສະລັບສັບຊ້ອນເຊັ່ນ: ການເນົ່າເປື່ອຍແລະການປະສົມຂອງແຫຼ່ງກາກບອນແລະແຫຼ່ງ tantalum ເກີດຂຶ້ນ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ຊຸດຂອງປະຕິກິລິຍາດ້ານຫນ້າເຊັ່ນການແຜ່ກະຈາຍຂອງຄາຣະວາແລະ desorption ຂອງຜະລິດຕະພັນໂດຍຜະລິດຕະພັນແມ່ນມີສ່ວນຮ່ວມ. ສຸດທ້າຍ, ຊັ້ນປ້ອງກັນທີ່ຫນາແຫນ້ນແມ່ນໄດ້ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນຢູ່ດ້ານຂອງພາກສ່ວນ graphite, ເຊິ່ງປົກປ້ອງພາກສ່ວນ graphite ບໍ່ໃຫ້ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງພາຍໃຕ້ສະພາບສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ. ສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງວັດສະດຸ graphite ແມ່ນຂະຫຍາຍຕົວຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ຕົວກໍານົດການຜະລິດຕະພັນຂອງ TaC Coated Graphite Susceptor:

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງການເຄືອບ TaC
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	14.3 (g/cm³)
ການປ່ອຍອາຍພິດສະເພາະ	0.3
ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ	6.3 10-6/K
ຄວາມແຂງ (HK)	2000 HK
ການຕໍ່ຕ້ານ	1×10-5 Ohm*ຊມ
ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ	<2500℃
ການປ່ຽນແປງຂະຫນາດຂອງ Graphite	-10~20 ນ
ຄວາມຫນາຂອງເຄືອບ	≥20um ຄ່າປົກກະຕິ (35um±10um)