TaC ເຄືອບສາມກີບດອກ

VeTek Semiconductor ເປັນຜູ້ຜະລິດແຫວນສາມກີບດອກທີ່ເຄືອບ TaC ຊັ້ນນໍາແລະຜູ້ປະດິດສ້າງໃນ China.We ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນການເຄືອບ TaC ແລະ SiC ສໍາລັບເວລາຫຼາຍປີ. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາມີຄວາມຕ້ານທານ corrosion, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍມາເປັນຄູ່ຮ່ວມມືໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

VeTek Semiconductor ເປັນຜູ້ຜະລິດແຫວນສາມກີບດອກທີ່ເຄືອບ China TaC ມືອາຊີບແລະຜູ້ຜະລິດ. The TaC Coated Three-petal Ring is used in Aixtron G10-deposition system for compound semiconductor, G10-GaN 150/200 mm high throughput epitaxy for GaN power & RF ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ.

VeTek Semiconductor TaC coating ແມ່ນການຜະລິດໃຫມ່ຂອງວັດສະດຸທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງດີກວ່າ SiC, ເປັນສານເຄືອບຕ້ານ corrosion, ເຄືອບຕ້ານການຜຸພັງ, ເຄືອບທົນທານຕໍ່ສວມໃສ່, ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມຂ້າງເທິງ 2000 ℃, ການນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ. aerospace ອຸນຫະພູມ ultra-ສູງສ່ວນທີ່ສຸດຮ້ອນ, ການຜະລິດທີ່ສາມຂອງ semiconductor ການເຕີບໂຕໄປເຊຍກັນດຽວແລະຂົງເຂດອື່ນໆ.

ຄຸນນະສົມບັດຜະລິດຕະພັນ:

1. ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເນື້ອໃນ impurity < 5ppm

2. ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ

3. ມັນເປັນ inert ທາງເຄມີກັບ ammonia, hydrogen, silane ແລະ silicon ຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງແລະມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ.

4. ທົນທານຕໍ່ອາການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ, ສາມາດເລັ່ງວົງຈອນການດໍາເນີນງານ

5. ການຍຶດເກາະ graphite ທີ່ເຂັ້ມແຂງຮັບປະກັນຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານແລະບໍ່ມີການເຄືອບ delamination.

6. ຄວາມທົນທານຂອງມິຕິຢ່າງເຂັ້ມງວດ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍ:

1. ການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial

2. ການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນດຽວ

3. ຄວາມຫຼາກຫຼາຍ corrosion ອຸນຫະພູມສູງ

4. ອຸນຫະພູມສູງແລະ nozzle ຕ້ານການຜຸພັງ

5. ແຜ່ນໃບຄ້າຍຄື turbine ອາຍແກັສ

ຕົວກໍານົດການຜະລິດຕະພັນຂອງ TaC ເຄືອບສາມກີບດອກ

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງການເຄືອບ TaC
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	14.3 (g/cm³)
ການປ່ອຍອາຍພິດສະເພາະ	0.3
ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ	6.3 10-6/K
ຄວາມແຂງ (HK)	2000 HK
ການຕໍ່ຕ້ານ	1×10-5 Ohm*ຊມ
ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ	<2500℃
ການປ່ຽນແປງຂະຫນາດຂອງ Graphite	-10~20 ນ
ຄວາມຫນາຂອງເຄືອບ	≥20um ຄ່າປົກກະຕິ (35um±10um)