TaC ເຄືອບ Chuck

ການເຄືອບ TaC ຂອງ VeTek Semiconductor ມີລັກສະນະການເຄືອບ TaC ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບການທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມທົນທານຂອງສານເຄມີ, ໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການ silicon carbide (SiC) epitaxy (EPI). ດ້ວຍຄຸນສົມບັດພິເສດ ແລະປະສິດທິພາບທີ່ເໜືອກວ່າ, ການເຄືອບ TaC ຂອງພວກເຮົາໃຫ້ຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກຫຼາຍຢ່າງ. ພວກເຮົາມຸ່ງໝັ້ນທີ່ຈະສະໜອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ ແລະຫວັງວ່າຈະໄດ້ເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

VeTek Semiconductor's TaC Coating Chuck ແມ່ນການແກ້ໄຂທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການບັນລຸຜົນໄດ້ຮັບພິເສດໃນຂະບວນການ SiC EPI. ດ້ວຍການເຄືອບ TaC, ຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ແລະຄວາມອິດເມື່ອຍທາງເຄມີ, ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາຊ່ວຍໃຫ້ທ່ານສາມາດຜະລິດໄປເຊຍກັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື.Welcome to inquiry us.

TaC (tantalum carbide) ແມ່ນວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປເພື່ອເຄືອບດ້ານຂອງພາກສ່ວນພາຍໃນຂອງອຸປະກອນ epitaxial. ມັນມີລັກສະນະດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

● ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ: ການເຄືອບ TaC ສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 2200 ° C, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເຊັ່ນ: ຫ້ອງຕິກິຣິຍາ epitaxial.

● ຄວາມແຂງສູງ: ຄວາມແຂງຂອງ TaC ຮອດປະມານ 2000 HK, ເຊິ່ງແມ່ນແຂງກວ່າເຫຼັກສະແຕນເລດຫຼືໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປ, ເຊິ່ງສາມາດປ້ອງກັນການສວມໃສ່ຂອງພື້ນຜິວໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

● ຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ເຂັ້ມແຂງ: ການເຄືອບ TaC ປະຕິບັດໄດ້ດີໃນສະພາບແວດລ້ອມ corrosive ສານເຄມີແລະຢ່າງຫຼວງຫຼາຍສາມາດຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງອົງປະກອບອຸປະກອນ epitaxial.

● ການນໍາໄຟຟ້າທີ່ດີ: ການເຄືອບ taC ມີການນໍາໄຟຟ້າທີ່ດີ, ທີ່ເອື້ອອໍານວຍໃຫ້ແກ່ການປ່ອຍ electrostatic ແລະ conduction ຄວາມຮ້ອນ.

ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ການເຄືອບ TaC ເປັນວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການຜະລິດພາກສ່ວນທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ: ພຸ່ມໄມ້ພາຍໃນ, ຝາຫ້ອງຕິກິຣິຍາ, ແລະອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນສໍາລັບອຸປະກອນ epitaxial. ໂດຍການເຄືອບອົງປະກອບເຫຼົ່ານີ້ດ້ວຍ TaC, ປະສິດທິພາບໂດຍລວມແລະຊີວິດການບໍລິການຂອງອຸປະກອນ epitaxial ສາມາດປັບປຸງໄດ້.

ສໍາລັບ silicon carbide epitaxy, chunk ເຄືອບ TaC ຍັງສາມາດມີບົດບາດສໍາຄັນ. ດ້ານຂອງ TaC ການເຄືອບແມ່ນກ້ຽງແລະຫນາແຫນ້ນ, ເຊິ່ງເອື້ອອໍານວຍໃຫ້ແກ່ການສ້າງຮູບເງົາ silicon carbide ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຂອງ TaC ສາມາດຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມພາຍໃນອຸປະກອນ, ດັ່ງນັ້ນການປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຂອງຂະບວນການ epitaxial, ແລະໃນທີ່ສຸດບັນລຸການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊັ້ນ epitaxial silicon carbide ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

ຕົວກໍານົດການຜະລິດຕະພັນຂອງເຄື່ອງເຄືອບ TaC:

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງການເຄືອບ TaC
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	14.3 (g/cm³)
ການປ່ອຍອາຍພິດສະເພາະ	0.3
ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ	6.3*10^-6/ກ
ຄວາມແຂງ (HK)	2000 HK
ການຕໍ່ຕ້ານ	1×10^-5ໂອມ*ຊມ
ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ	<2500℃
ການປ່ຽນແປງຂະຫນາດຂອງ Graphite	-10~20 ນ
ຄວາມຫນາຂອງເຄືອບ	≥20um ຄ່າປົກກະຕິ (35um±10um)