Chuck ເຄືອບ Tantalum Carbide

VeTek Semiconductor ເປັນຜູ້ຜະລິດ Tantalum Carbide Coated Chuck ຊັ້ນນໍາແລະຜູ້ປະດິດສ້າງໃນປະເທດຈີນ. ພວກເຮົາມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນການເຄືອບ TaC ສໍາລັບເວລາຫຼາຍປີ. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 2000 ℃.ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນໄລຍະຍາວຂອງທ່ານ. ຄູ່ຮ່ວມມືໃນປະເທດຈີນ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

VeTek Semiconductor ສະຫນອງຄຸນນະພາບສູງ Tantalum Carbide Coated Chuck, ຊິ້ນສ່ວນເຄືອບ SiC ດ້ວຍລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ.Welcome to inquiry us.VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck, ອອກແບບສະເພາະສໍາລັບລະບົບ AIXTRON G10 MOCVD. ອຸປະກອນເສີມນີ້ເພີ່ມປະສິດທິພາບແລະຄຸນນະພາບໃນການຜະລິດ semiconductor, ສະຫນອງການປະຕິບັດທີ່ໂດດເດັ່ນແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື.

ຫັດຖະກໍາຈາກວັດສະດຸທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະຜະລິດດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາ, chuck ມີ substrate graphite ເຄືອບດ້ວຍ CVD tantalum carbide (TaC). ການເຄືອບນີ້ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານກັບອຸນຫະພູມສູງ. ມັນຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ໃນເງື່ອນໄຂຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການ MOCVD.

chuck ແມ່ນສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ເພື່ອຮອງຮັບຂະຫນາດ wafer semiconductor ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມກັບຄວາມຕ້ອງການການຜະລິດຕ່າງໆ. ການກໍ່ສ້າງທີ່ເຂັ້ມແຂງຂອງມັນຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດເຮັດວຽກແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer ແລະ susceptors.

ດ້ວຍ VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck, ລະບົບ AIXTRON G10 MOCVD ບັນລຸປະສິດທິພາບທີ່ສູງຂຶ້ນແລະຜົນໄດ້ຮັບທີ່ດີກວ່າໃນການຜະລິດ semiconductor. ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຂະຫນາດ wafer ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ແລະການປະຕິບັດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນເຄື່ອງມືທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດແລະບັນລຸຜົນໄດ້ຮັບທີ່ໂດດເດັ່ນໃນສະພາບແວດລ້ອມ MOCVD ທີ່ທ້າທາຍ.

ຕົວກໍານົດການຜະລິດຕະພັນຂອງ Chuck ເຄືອບ Tantalum Carbide

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງການເຄືອບ TaC
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	14.3 (g/cm³)
ການປ່ອຍອາຍພິດສະເພາະ	0.3
ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ	6.3 10-6/K
ຄວາມແຂງ (HK)	2000 HK
ການຕໍ່ຕ້ານ	1×10-5 Ohm*ຊມ
ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ	<2500℃
ການປ່ຽນແປງຂະຫນາດຂອງ Graphite	-10~20 ນ
ຄວາມຫນາຂອງເຄືອບ	≥20um ຄ່າປົກກະຕິ (35um±10um)