VeTek Semiconductor ເປັນຜູ້ສະຫນອງຊັ້ນນໍາຂອງການເຄືອບ TaC ແລະສ່ວນ graphite ເຄືອບ SiC. ພວກເຮົາມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນການຜະລິດຂອງການຕັດແຂບ LED EPI Susceptors, ທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບຂະບວນການ epitaxy LED. ດ້ວຍຈຸດສຸມທີ່ເຂັ້ມແຂງກ່ຽວກັບນະວັດຕະກໍາແລະຄຸນນະພາບ, ພວກເຮົາສະເຫນີການແກ້ໄຂທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ທີ່ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງອຸດສາຫະກໍາ LED. ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາໃນມື້ນີ້ເພື່ອປຶກສາຫາລືການສອບຖາມຂອງທ່ານແລະຄົ້ນພົບວິທີການຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາສາມາດປັບປຸງຂະບວນການຜະລິດຂອງທ່ານ.
ໃນຖານະເປັນຜູ້ຜະລິດມືອາຊີບ, ພວກເຮົາຕ້ອງການໃຫ້ທ່ານມີຄຸນນະພາບສູງ LED EPI Susceptor.
VeTek Semiconductor's LED EPI Susceptor, ຜະລິດຕະພັນທີ່ທັນສະ ໄໝ ທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ LED epitaxy. susceptor ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງນີ້ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer ສໍາລັບ LED epitaxy, ສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ສໍາຄັນແລະຮັກສາການເຕີບໂຕຂອງ wafers epitaxy LED. ດ້ວຍຄຸນນະສົມບັດພິເສດແລະການອອກແບບທີ່ກ້າວຫນ້າ, LED EPI Susceptor ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຕະຫຼອດຂະບວນການ epitaxy.
ຜະລິດໂດຍໃຊ້ອຸນຫະພູມສູງລະດັບພຣີມຽມ, LED EPI Susceptor ສະແດງຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ໂດດເດັ່ນແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງສານເຄມີ. ການອອກແບບວິສະວະກໍາຢ່າງພິຖີພິຖັນຮັບປະກັນການຕິດຕໍ່ທີ່ເປັນເອກະພາບແລະການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ wafers epitaxial ໃນຂະນະທີ່ສະເຫນີຄວາມຮາບພຽງຢູ່ດ້ານເທິງແລະການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່. ໂຄງສ້າງແລະຂະຫນາດຂອງ susceptor ໄດ້ຖືກປັບແຕ່ງເພື່ອຮອງຮັບຂະຫນາດ wafer epitaxial ຕ່າງໆ, ຮອງຮັບເສັ້ນຜ່າສູນກາງແລະຄວາມຫນາທີ່ແຕກຕ່າງກັນຢ່າງງ່າຍດາຍ.
The LED EPI Susceptor ປະກອບດ້ວຍການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, dissipating ຄວາມຮ້ອນປະສິດທິພາບເພື່ອຮັກສາອຸນຫະພູມການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບ wafers epitaxial. ຄຸນນະສົມບັດທີ່ສໍາຄັນນີ້ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການ, ຮັບປະກັນການເຕີບໂຕຂອງ LED ທີ່ສອດຄ່ອງແລະມີຄຸນນະພາບສູງ.
ເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງມັນ, LED EPI Susceptor ຖືກເຄືອບດ້ວຍຮູບເງົາບາງໆ tantalum carbide (TaC). ການເຄືອບນີ້ໃຫ້ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງພິເສດ, ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ຄວາມແຂງ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່, ແລະປັບປຸງການນໍາຄວາມຮ້ອນ. ການເຄືອບ TaC ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍເສີມຂະຫຍາຍຄວາມທົນທານແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຜະລິດຕະພັນ, ຮັບປະກັນການທົນທານຕໍ່ຍາວແລະປະສິດທິພາບທີ່ດີທີ່ສຸດ.
LED EPI Susceptor ຂອງ VeTek Semiconductor ມີຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຢ່າງບໍ່ຢຸດຢັ້ງກັບອຸປະກອນ ແລະຂະບວນການ LED epitaxy ຕ່າງໆ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນການແກ້ໄຂທີ່ຫຼາກຫຼາຍສໍາລັບຄວາມຕ້ອງການການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ wafer epitaxial ທີ່ຫຼາກຫຼາຍ. ການສະຫນອງທີ່ດີເລີດແລະຄວາມແມ່ນຍໍາ, LED EPI Susceptor ແມ່ນທາງເລືອກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການບັນລຸຂະບວນການ LED epitaxy ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ແລະປະສິດທິພາບ.
ປະສົບການການປະຕິວັດ epitaxy ກັບ LED EPI Susceptor ຂອງ VeTek Semiconductor - ການແກ້ໄຂທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບການເຕີບໂຕຂອງ LED ທີ່ດີກວ່າ.
ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງການເຄືອບ TaC | |
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ | 14.3 (g/cm³) |
ການປ່ອຍອາຍພິດສະເພາະ | 0.3 |
ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ | 6.3 10-6/K |
ຄວາມແຂງ (HK) | 2000 HK |
ການຕໍ່ຕ້ານ | 1×10-5 Ohm*ຊມ |
ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ | <2500℃ |
ການປ່ຽນແປງຂະຫນາດຂອງ Graphite | -10~20 ນ |
ຄວາມຫນາຂອງເຄືອບ | ≥20um ຄ່າປົກກະຕິ (35um±10um) |