Silicon Carbide Wafer Chuck

ໃນຖານະເປັນຜູ້ຜະລິດຊັ້ນນໍາແລະຜູ້ສະຫນອງຜະລິດຕະພັນ Silicon Carbide Wafer Chuck ໃນປະເທດຈີນ, VeTek Semiconductor's Silicon Carbide Wafer Chuck ມີບົດບາດ irreplaceable ໃນຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial ດ້ວຍຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ, ການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີແລະການຕໍ່ຕ້ານຄວາມຮ້ອນ. ຍິນດີຕ້ອນຮັບການໃຫ້ຄໍາປຶກສາເພີ່ມເຕີມຂອງທ່ານ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck ໃຊ້ຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດຂອງວັດສະດຸ Silicon Carbide ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງການຜະລິດ semiconductor, ໂດຍສະເພາະໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor ທີ່ຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສູງທີ່ສຸດ.

ໃນຂະບວນການປຸງແຕ່ງ semiconductor,ຊິລິໂຄນຄາໄບມີຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ (ສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງຫມັ້ນຄົງຢູ່ທີ່ 1400 ° C), ການນໍາໄຟຟ້າຕ່ໍາ (SiC ມີ conductivity ຂ້ອນຂ້າງຕໍ່າ, ໂດຍປົກກະຕິ 10^^-3S/m) ແລະຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ (ປະມານ 4.0 × 10^^-6/°C), ເຊິ່ງເປັນວັດສະດຸທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ ແລະ ທີ່ສຳຄັນ, ໂດຍສະເພາະ ເໝາະສຳລັບການຜະລິດ Silicon Carbide Wafer Chuck.

ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial, ຊັ້ນບາງໆຂອງວັດສະດຸ semiconductor ຖືກຝາກໄວ້ໃນ substrate, ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຢ່າງແທ້ຈິງຈາກ wafer ເພື່ອຮັບປະກັນຊັ້ນການຝາກຮູບເງົາເປັນເອກະພາບແລະມີຄຸນນະພາບສູງ. The SiC Vacuum Chuck ບັນລຸໄດ້ໂດຍການສ້າງສູນຍາກາດທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ສອດຄ່ອງເພື່ອປ້ອງກັນການເຄື່ອນໄຫວຫຼືການຜິດປົກກະຕິຂອງ wafer ໄດ້.

ຊິລິໂຄນຄາໄບ Wafer Chuck ຍັງໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ. ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຢ່າງໄວວາແມ່ນເປັນເລື່ອງປົກກະຕິໃນການຜະລິດ semiconductor, ແລະວັດສະດຸທີ່ບໍ່ສາມາດທົນທານຕໍ່ການປ່ຽນແປງເຫຼົ່ານີ້ອາດຈະແຕກ, ງໍ, ຫຼືລົ້ມເຫລວ. Silicon carbide ມີຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນແລະສາມາດຮັກສາຮູບຮ່າງແລະຫນ້າທີ່ຂອງຕົນເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມຢ່າງຮຸນແຮງ, ຮັບປະກັນວ່າ wafer ຍັງຄົງປອດໄພໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ epitaxy ໂດຍບໍ່ມີການການເຄື່ອນໄຫວຫຼື misalignment.

ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ໄດ້ຂະບວນການ epitaxyມັກຈະປະກອບດ້ວຍອາຍແກັສ reactive ແລະສານເຄມີ corrosive ອື່ນໆ. inertness ສານເຄມີຂອງ SiC Wafer Chuck ຮັບປະກັນວ່າມັນບໍ່ໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຈາກສະພາບແວດລ້ອມ harsh ເຫຼົ່ານີ້, ຮັກສາປະສິດທິພາບຂອງຕົນແລະຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງຕົນ. ຄວາມທົນທານຂອງສານເຄມີນີ້ບໍ່ພຽງແຕ່ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນ Wafer Chuck, ແຕ່ຍັງຮັບປະກັນການປະຕິບັດຜະລິດຕະພັນທີ່ສອດຄ່ອງໃນຮອບການຜະລິດຫຼາຍ, ຊ່ວຍໃຫ້ການປັບປຸງປະສິດທິພາບລວມແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຂອງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor.

VeTek Semiconductor ເປັນຜູ້ຜະລິດຊັ້ນນໍາແລະຜູ້ສະຫນອງຜະລິດຕະພັນ Silicon Carbide Wafer Chuck ໃນປະເທດຈີນ. ພວກເຮົາສາມາດສະຫນອງປະເພດຕ່າງໆຂອງຜະລິດຕະພັນ Chuck ເຊັ່ນ:Porous SiC Ceramic Chuck, Porous SiC Vacuum Chuck, Porous Ceramic Vacuum ChuckແລະTaC ເຄືອບ Chuck, ແລະອື່ນໆ VeTek Semiconductor ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງເຕັກໂນໂລຊີກ້າວຫນ້າທາງດ້ານແລະການແກ້ໄຂຜະລິດຕະພັນສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມມືໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.

SEM ຂໍ້ມູນຂອງ CVDSIC FILM CRYSTAL ໂຄງສ້າງ：

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE