SiC Coated Pancake Susceptor ສໍາລັບ LPE PE3061S 6'' Wafers

VeTek Semiconductor ເປັນຊັ້ນນໍາ SiC Coated Pancake Susceptor ສໍາລັບ LPE PE3061S 6 '' wafers ຜູ້ຜະລິດແລະປະດິດສ້າງໃນປະເທດຈີນ. ພວກເຮົາມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນອຸປະກອນການເຄືອບ SiC ສໍາລັບເວລາຫຼາຍປີ. ພວກເຮົາສະເຫນີ SiC-coated pancake susceptor ອອກແບບສະເພາະສໍາລັບ LPE PE3061S 6" wafers . ນີ້ susceptor epitaxial ມີລັກສະນະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ສູງ, ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ, uniformity.We ຍິນດີຕ້ອນຮັບທ່ານໄປຢ້ຽມຢາມໂຮງງານຜະລິດຂອງພວກເຮົາໃນປະເທດຈີນ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ໃນຖານະເປັນຜູ້ຜະລິດມືອາຊີບ, VeTek Semiconductor ຕ້ອງການໃຫ້ທ່ານມີຄຸນນະພາບສູງ SiC Coated Pancake Susceptor ສໍາລັບ LPE PE3061S 6 '' wafers.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor ສໍາລັບ LPE PE3061S 6" wafers ແມ່ນອຸປະກອນທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor.

SiC Coated Pancake Susceptor ສໍາລັບ LPE PE3061S 6" wafers ຄຸນນະສົມບັດຜະລິດຕະພັນ:

ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ: SiC ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ, ການຮັກສາໂຄງສ້າງແລະການປະຕິບັດໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.

ການນໍາໃຊ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ພົ້ນເດັ່ນ: SiC ມີການນໍາໃຊ້ຄວາມຮ້ອນເປັນພິເສດ, ເຮັດໃຫ້ການໂອນຄວາມຮ້ອນໄວແລະເປັນເອກະພາບສໍາລັບການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໄວແລະແມ້ກະທັ້ງ.

ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: SiC ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີເລີດ, ຕ້ານ corrosion ແລະ oxidation ໃນສະພາບແວດລ້ອມຄວາມຮ້ອນຕ່າງໆ.

ການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ: ເຄື່ອງບັນຈຸ wafer ເຄືອບ SiC ສະຫນອງການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ, ຮັບປະກັນອຸນຫະພູມເຖິງແມ່ນວ່າໃນທົ່ວຫນ້າດິນຂອງ wafer ໃນລະຫວ່າງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ.

ເຫມາະສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor: Si epitaxy wafer carrier ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ໂດຍສະເພາະສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວ Si epitaxy ແລະຂະບວນການຄວາມຮ້ອນສູງອື່ນໆ.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງຜະລິດຕະພັນ:

ປັບປຸງປະສິດທິພາບການຜະລິດ: SiC-coated pancake susceptor ເຮັດໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໄວແລະເປັນເອກະພາບ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຄວາມຮ້ອນແລະເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດ.

ຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ: ການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ wafer, ນໍາໄປສູ່ການປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ.

ຂະຫຍາຍອາຍຸອຸປະກອນ: ວັດສະດຸ SiC ສະຫນອງການທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີ, ປະກອບສ່ວນໃຫ້ອາຍຸຍືນຂອງ susceptor pancake ໄດ້.

ການແກ້ໄຂທີ່ກໍາຫນົດເອງ: SiC-coated susceptor, Si epitaxy wafer carrier ສາມາດຖືກປັບໃຫ້ເຫມາະສົມກັບຂະຫນາດແລະຂໍ້ກໍາຫນົດຕ່າງໆໂດຍອີງໃສ່ຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ.

SEM data and structure of CVD SIC films

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງການເຄືອບ CVD SiC:

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງການເຄືອບ CVD SiC
ຊັບສິນ	ຄ່າປົກກະຕິ
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ	FCC βໄລຍະ polycrystalline, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນ (111) ຮັດກຸມ
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	3.21 g/cm³
ຄວາມແຂງ	ຄວາມແຂງຂອງ Vickers 2500 (ໂຫຼດ 500g)
ເມັດ SiZe	2-10 ມມ
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	99.99995%
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	640 J·kg-1·K-1
ອຸນຫະພູມ sublimation	2700℃
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural	415 MPa RT 4 ຈຸດ
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ	300W·m-1·K-1
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE)	4.5×10-6K-1

VeTek Semiconductor Production Shop

ສະພາບລວມຂອງລະບົບຕ່ອງໂສ້ອຸດສາຫະກໍາ epitaxy chip semiconductor:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Hot Tags: SiC Coated Pancake Susceptor ສໍາລັບ LPE PE3061S 6 '' Wafers, ຈີນ, ຜູ້ຜະລິດ, ຜູ້ສະຫນອງ, ໂຮງງານຜະລິດ, ປັບແຕ່ງ, ຊື້, ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານ, ທົນທານ, ຜະລິດໃນປະເທດຈີນ

ປ້າຍສິນຄ້າ

ປະເພດທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ