VeTek Semiconductor ເປັນຊັ້ນນໍາ SiC Coated Support ສໍາລັບຜູ້ຜະລິດ LPE PE2061S ແລະຜູ້ປະດິດສ້າງໃນ China.We ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນອຸປະກອນການເຄືອບ SiC ສໍາລັບເວລາຫຼາຍປີ. ພວກເຮົາສະເຫນີ SiC Coated Support ສໍາລັບ LPE PE2061S ອອກແບບສະເພາະສໍາລັບ LPE silicon epitaxy reactor. ນີ້ SiC Coated ສະຫນັບສະຫນູນ LPE PE2061S ແມ່ນລຸ່ມຂອງ barrel susceptor.It ສາມາດທົນອຸນຫະພູມສູງ 1600 ອົງສາເຊນຊຽດ, ຍືດອາຍຸຜະລິດຕະພັນຂອງ graphite spare part.Welcome to send us inquiry.
ຄຸນນະພາບສູງ SiC Coated Support ສໍາລັບ LPE PE2061S ແມ່ນສະຫນອງໃຫ້ໂດຍຜູ້ຜະລິດຈີນ VeTek Semiconductor. ຊື້ SiC Coated Support ສໍາລັບ LPE PE2061S ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໂດຍກົງກັບລາຄາຕໍ່າ.
VeTeK Semiconductor SiC Coated Support ສໍາລັບ LPE PE2061S ໃນອຸປະກອນ silicon epitaxy, ນໍາໃຊ້ຮ່ວມກັບ susceptor ປະເພດ barrel ເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນແລະຖື wafers epitaxial (ຫຼື substrates) ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial.
ແຜ່ນລຸ່ມແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍກັບ furnace epitaxial barrel, furnace epitaxial barrel ມີຫ້ອງຕິກິຣິຍາຂະຫນາດໃຫຍ່ແລະປະສິດທິພາບການຜະລິດສູງກວ່າ susceptor epitaxial ແປ.
ການສະຫນັບສະຫນູນມີການອອກແບບຂຸມຮອບແລະຖືກນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍສໍາລັບທໍ່ລະບາຍອາກາດພາຍໃນເຕົາປະຕິກອນ.
VeTeK Semiconductor SiC Coated Support ສໍາລັບ LPE PE2061S ແມ່ນສໍາລັບ Liquid Phase Epitaxy (LPE) Reactor System, ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ການເຄືອບເອກະພາບ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ຄວາມແຂງສູງ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ແລະ inertness ສານເຄມີ. .
ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງການເຄືອບ CVD SiC | |
ຄຸນສົມບັດ | ຄ່າປົກກະຕິ |
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ | FCC βໄລຍະ polycrystalline, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນ (111) ຮັດກຸມ |
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ | 3.21 g/cm³ |
ຄວາມແຂງ | ຄວາມແຂງຂອງ Vickers 2500 (ໂຫຼດ 500g) |
ເມັດ SiZe | 2-10 ມມ |
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ | 99.99995% |
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ | 640 J·kg-1·K-1 |
ອຸນຫະພູມ sublimation | 2700℃ |
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural | 415 MPa RT 4 ຈຸດ |
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ | 430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃ |
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ | 300W·m-1·K-1 |
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE) | 4.5×10-6K-1 |