SiC coated Silicon Carbide Wafer Boat

VeTek Semiconductor ເປັນຜູ້ຜະລິດແລະຜູ້ສະຫນອງມືອາຊີບໃນປະເທດຈີນສໍາລັບເຮືອ SiC coated silicon carbide wafer, ມີປະສົບການຫຼາຍປີໃນ R & D ແລະການຜະລິດ, ສາມາດຄວບຄຸມຄຸນນະພາບໄດ້ດີແລະສະເຫນີລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ. ຍິນດີຕ້ອນຮັບສໍາລັບການຢ້ຽມຢາມໂຮງງານຂອງພວກເຮົາແລະມີການສົນທະນາຕື່ມອີກກ່ຽວກັບການຮ່ວມມື.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

VeTek Semiconductor ແມ່ນຜູ້ຜະລິດແລະຜູ້ສະຫນອງຂອງຈີນທີ່ຜະລິດເຮືອ Wafer Silicon Carbide ເຄືອບ SiC ສ່ວນໃຫຍ່ທີ່ມີປະສົບການຫຼາຍປີ. ຫວັງວ່າຈະສ້າງຄວາມສໍາພັນທາງທຸລະກິດກັບ you.SiC coated silicon carbide wafer boats are used in semiconductor diffusion furnaces to carry the wafers for various high-temperature process such as ion implantation, diffusion, and annealing. ມັນສາມາດສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບ wafers, ຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງຂອງອຸນຫະພູມແລະຄວາມສອດຄ່ອງໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ.

SiC coated silicon carbide wafer ເຮືອ wafer ທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ສູງຂຶ້ນແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງສານເຄມີ, ໃຫ້ເຂົາເຈົ້າສາມາດປະຕິບັດງານຢູ່ໃນອຸນຫະພູມທີ່ສູງຂຶ້ນແລະໃຫ້ອາຍຸຍືນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ພວກເຂົາເຈົ້າມີອັດຕາການລະເຫີຍຂອງວັດສະດຸຕ່ໍາແລະອັດຕາການດູດຊຶມຂອງອາຍແກັສ, ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງ impurities ໃນການປຸງແຕ່ງ wafer.

ພວກເຮົາສາມາດຜະລິດເຮືອ wafer silicon carbide ປະເພດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ເຮືອ wafer ອອກຕາມລວງນອນ, ເຮືອ wafer ແນວຕັ້ງ, ແລະເຮືອທີ່ກໍາຫນົດເອງອື່ນໆ.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງ silicon carbide ຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງພວກເຮົາ:

1.ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ

2.Chemical Inertness

3. ເນື້ອໃນ impurity ຕ່ໍາ

4.ການນໍາຄວາມຮ້ອນ

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງ Recrystallized Silicon Carbide

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງ Recrystallized Silicon Carbide
ຄຸນສົມບັດ	ຄ່າປົກກະຕິ
ອຸນຫະພູມເຮັດວຽກ (°C)	1600°C (ມີອົກຊີເຈນ), 1700°C (ສະພາບແວດລ້ອມການຫຼຸດຜ່ອນ)
ເນື້ອໃນ SiC	> 99.96%
ເນື້ອຫາ Si ຟຣີ	< 0.1%
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຫຼາຍ	2.60-2.70 g/cm3
porosity ປາກົດຂື້ນ	< 16%
ແຮງບີບອັດ	> 600 MPa
ຄວາມແຂງຂອງໂຄ້ງເຢັນ	80-90 MPa (20°C)
ແຮງບິດຮ້ອນ	90-100 MPa (1400 ° C)
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ @1500°C	4.70 10-6/°C
ການນໍາໃຊ້ຄວາມຮ້ອນ @1200°C	23 W/m•K
ໂມດູລສຕິກ	240 GPa
ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ	ດີຫຼາຍ