ເຮືອ Wafer Silicon Carbide ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງ VeTek Semiconductor ແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸ silicon carbide ທີ່ບໍລິສຸດທີ່ສຸດທີ່ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ. ເຮືອ Wafer Silicon Carbide ຄວາມບໍລິສຸດສູງຖືກນໍາໃຊ້ໃນພື້ນທີ່ຮ້ອນໃນການຜະລິດ semiconductor, ໂດຍສະເພາະໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ແລະມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການປົກປ້ອງ wafers, ການຂົນສົ່ງວັດສະດຸແລະການຮັກສາຂະບວນການທີ່ຫມັ້ນຄົງ. VeTek Semiconductor ຈະສືບຕໍ່ເຮັດວຽກຫນັກເພື່ອປະດິດສ້າງແລະປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງເຮືອ Silicon Carbide Wafer ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ພັດທະນາຂອງການຜະລິດ semiconductor. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍມາເປັນຄູ່ຮ່ວມມືໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.
ໃນຖານະເປັນຜູ້ຜະລິດມືອາຊີບ, VeTek Semiconductor ຕ້ອງການໃຫ້ທ່ານມີຄຸນນະພາບສູງ Silicon Carbide Wafer Boat.
ປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ: ເຮືອ Wafer Silicon Carbide ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງ VeTek Semiconductor ມີການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ແລະມີການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ໃຫ້ພວກເຂົາເຮັດວຽກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມທີ່ສູງກວ່າສະພາບແວດລ້ອມ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ເຮືອ Silicon Carbide Wafer ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການໃຊ້ພະລັງງານສູງແລະທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ.
ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນທີ່ດີເລີດ: ຄວາມບໍລິສຸດສູງ Silicon Carbide Wafer Boat ເປັນເຄື່ອງມືທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor, ແລະມັນມີຄວາມຕ້ານທານທີ່ເຂັ້ມແຂງກັບຕົວແທນ corrosive ຕ່າງໆ. ເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້, ມັນສາມາດທົນຜົນກະທົບຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະການກັດກ່ອນໃນສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີ, ຮັບປະກັນການປຸງແຕ່ງທີ່ປອດໄພແລະປະສິດທິພາບຂອງ wafers silicon carbide. ເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້, ມັນສາມາດທົນຜົນກະທົບຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະການກັດກ່ອນໃນສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີ, ຮັບປະກັນການປຸງແຕ່ງທີ່ປອດໄພແລະປະສິດທິພາບຂອງ wafers silicon carbide.
ຄວາມສົມບູນຂອງມິຕິລະດັບ: ເຮືອ Silicon Carbide Wafer ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງບໍ່ຫົດຕົວໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ sintering, ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງມິຕິແລະການກໍາຈັດຄວາມກົດດັນທີ່ຕົກຄ້າງທີ່ອາດຈະເຮັດໃຫ້ພາກສ່ວນຕ່າງໆ warp ຫຼື crack. ນີ້ເຮັດໃຫ້ການຜະລິດຊິ້ນສ່ວນທີ່ມີຮູບຮ່າງທີ່ຊັບຊ້ອນທີ່ມີຂະຫນາດທີ່ຊັດເຈນ. ບໍ່ວ່າຈະຢູ່ໃນການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ຫຼືຂົງເຂດອຸດສາຫະກໍາອື່ນໆ, Silicon Carbide Wafer Boat ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງໃຫ້ການຄວບຄຸມຂະຫນາດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າພາກສ່ວນຕ່າງໆຕອບສະຫນອງສະເພາະ.
ເປັນເຄື່ອງມືທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ເຮືອ Silicon Carbide Wafer ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງ VeTek Semiconductor ສາມາດນໍາໃຊ້ກັບເຕັກໂນໂລຢີການຜະລິດ semiconductor, ລວມທັງການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial ແລະການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ. ການອອກແບບທີ່ທົນທານແລະລັກສະນະທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາເຮັດໃຫ້ເຮືອ Silicon Carbide Wafer ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ເຫມາະສົມກັບຫຼາຍໆເຄມີການປຸງແຕ່ງ, ຮັບປະກັນວ່າມັນສາມາດປັບຕົວເຂົ້າກັບສະພາບແວດລ້ອມການປຸງແຕ່ງທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
ໃນການຜະລິດ semiconductor, ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial ແລະການປ່ອຍອາຍພິດສານເຄມີແມ່ນຂັ້ນຕອນຂະບວນການທົ່ວໄປທີ່ໃຊ້ໃນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ wafers ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະຮູບເງົາບາງໆ. ເຮືອ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງມີບົດບາດສໍາຄັນເປັນຜູ້ຂົນສົ່ງ, ເຊິ່ງສາມາດທົນທານຕໍ່ອິດທິພົນຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະສານເຄມີເພື່ອຮັບປະກັນຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່ແລະການປ່ອຍຕົວທີ່ຖືກຕ້ອງ.
ນອກເຫນືອໄປຈາກການອອກແບບທີ່ທົນທານຂອງມັນ, ເຮືອ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ. ນີ້ຫມາຍຄວາມວ່າມັນຈະບໍ່ react ໃນທາງລົບກັບສານເຄມີປຸງແຕ່ງ, ດັ່ງນັ້ນການຮັກສາຄວາມສົມບູນແລະປະສິດທິພາບຂອງເຮືອ. ນີ້ສະຫນອງຜູ້ຜະລິດ semiconductor ດ້ວຍເຄື່ອງມືທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງແລະການເຮັດຊ້ໍາອີກໃນຂະບວນການຜະລິດ.
ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງ Recrystallized Silicon Carbide | |
ຄຸນສົມບັດ | ຄ່າປົກກະຕິ |
ອຸນຫະພູມເຮັດວຽກ (°C) | 1600°C (ມີອົກຊີເຈນ), 1700°C (ສະພາບແວດລ້ອມການຫຼຸດຜ່ອນ) |
ເນື້ອໃນ SiC | > 99.96% |
ເນື້ອຫາ Si ຟຣີ | < 0.1% |
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຫຼາຍ | 2.60-2.70 g/cm3 |
porosity ປາກົດຂື້ນ | < 16% |
ແຮງບີບອັດ | > 600 MPa |
ຄວາມແຂງຂອງໂຄ້ງເຢັນ | 80-90 MPa (20°C) |
ແຮງບິດຮ້ອນ | 90-100 MPa (1400 ° C) |
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ @1500°C | 4.70 10-6/°C |
ການນໍາໃຊ້ຄວາມຮ້ອນ @1200°C | 23 W/m•K |
ໂມດູລສຕິກ | 240 GPa |
ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ | ດີຫຼາຍ |