ຈີນ ແຂງ Silicon Carbide ຜູ້ຜະລິດ, ຜູ້ສະໜອງ, ໂຮງງານ

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide ເປັນອົງປະກອບເຊລາມິກທີ່ສໍາຄັນໃນອຸປະກອນການແກະສະຫລັກ plasma, ແຂງ silicon carbide (CVD silicon carbide) ພາກສ່ວນໃນອຸປະກອນ etching ປະກອບມີວົງການສຸມໃສ່, ຫົວອາບອາຍແກັສ, ຖາດ, ວົງແຂບ, ແລະອື່ນໆ ເນື່ອງຈາກປະຕິກິລິຍາຕ່ໍາແລະການນໍາທາງຂອງຊິລິໂຄນຄາໄບທີ່ແຂງ (CVD silicon carbide) ກັບ chlorine - ແລະທາດອາຍແກັສທີ່ບັນຈຸ fluorine, ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບອຸປະກອນ plasma etching ສຸມໃສ່ວົງແຫວນແລະອື່ນໆ. ອົງປະກອບ.

ຍົກຕົວຢ່າງ, ວົງແຫວນແມ່ນສ່ວນ ໜຶ່ງ ທີ່ ສຳ ຄັນທີ່ວາງໄວ້ນອກ wafer ແລະຕິດຕໍ່ໂດຍກົງກັບ wafer, ໂດຍການ ນຳ ໃຊ້ແຮງດັນຕໍ່ວົງແຫວນເພື່ອສຸມໃສ່ plasma ທີ່ຜ່ານວົງແຫວນ, ສະນັ້ນການສຸມໃສ່ plasma ໃນ wafer ເພື່ອປັບປຸງຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງ. ການປຸງແຕ່ງ. ແຫວນຈຸດສຸມແບບດັ້ງເດີມແມ່ນເຮັດດ້ວຍຊິລິໂຄນຫຼືquartz, ຊິລິໂຄນ conductive ເປັນອຸປະກອນການສຸມໃສ່ທົ່ວໄປ, ມັນແມ່ນເກືອບໃກ້ຊິດກັບການນໍາຂອງ wafers ຊິລິໂຄນ, ແຕ່ການຂາດແຄນແມ່ນການຕໍ່ຕ້ານ etching ບໍ່ດີໃນ plasma ທີ່ມີ fluorine, etching ວັດສະດຸພາກສ່ວນເຄື່ອງຈັກມັກຈະຖືກນໍາໃຊ້ໃນໄລຍະເວລາ, ຈະມີຮ້າຍແຮງ. ປະກົດການ corrosion, ຢ່າງຮຸນແຮງຫຼຸດຜ່ອນປະສິດທິພາບການຜະລິດຂອງຕົນ.

Solid SiC Focus Ringຫຼັກການການເຮັດວຽກ：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

ການປຽບທຽບວົງການສຸມໃສ່ Si Based ແລະ CVD SiC Focusing Ring:

ການປຽບທຽບວົງການສຸມໃສ່ Si Based ແລະ CVD SiC Focusing Ring
ລາຍການ	ແລະ	CVD SiC
ຄວາມໜາແໜ້ນ (g/cm³)	2.33	3.21
ຊ່ອງຫວ່າງແຖບ (eV)	1.12	2.3
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ (W / cm ℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/ ℃)	2.6	4
ໂມດູລສຕິກ (Gpa)	150	440
ຄວາມແຂງ (Gpa)	11.4	24.5
ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການສວມໃສ່ແລະການກັດກ່ອນ	ທຸກຍາກ	ເລີດ

VeTek Semiconductor ສະຫນອງສ່ວນທີ່ກ້າວຫນ້າຂອງ silicon carbide ແຂງ (CVD silicon carbide) ເຊັ່ນ: SiC focusing rings ສໍາລັບອຸປະກອນ semiconductor. ແຫວນສຸມໃສ່ຊິລິໂຄນຄາໄບທີ່ແຂງຂອງພວກເຮົາດີກວ່າຊິລິໂຄນແບບດັ້ງເດີມໃນແງ່ຂອງຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ, ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມທົນທານຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ແລະຄວາມຕ້ານທານ ion etching.

ລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນຂອງວົງການສຸມໃສ່ SiC ຂອງພວກເຮົາປະກອບມີ:

ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງສໍາລັບການຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການ etching.

insulation ທີ່ດີເລີດທີ່ມີ bandgap ສູງ.

ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ.

ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ຜົນກະທົບກົນຈັກທີ່ດີເລີດແລະ elasticity.

ຄວາມແຂງສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່, ແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion.

ຜະລິດໂດຍໃຊ້ການປ່ອຍອາຍສານເຄມີທີ່ປັບປຸງໃນ plasma (PECVD)ເຕັກນິກ, ແຫວນສຸມໃສ່ SiC ຂອງພວກເຮົາຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຂະບວນການ etching ໃນການຜະລິດ semiconductor. ພວກເຂົາເຈົ້າໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອທົນທານຕໍ່ພະລັງງານ plasma ທີ່ສູງຂຶ້ນແລະພະລັງງານ, ໂດຍສະເພາະໃນplasma ປະສົມປະສານ capacitively (CCP)ລະບົບ.

ແຫວນສຸມໃສ່ SiC ຂອງ VeTek Semiconductor ສະຫນອງການປະຕິບັດພິເສດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor. ເລືອກອົງປະກອບ SiC ຂອງພວກເຮົາສໍາລັບຄຸນນະພາບແລະປະສິດທິພາບທີ່ດີກວ່າ.

View as

ຫົວອາບອາຍແກັສ SiC ແຂງ

VeTek Semiconductor ເປັນຜູ້ຜະລິດຫົວອາບນ້ໍາອາຍແກັສ Solid SiC ຊັ້ນນໍາແລະຜູ້ປະດິດສ້າງໃນປະເທດຈີນ. ພວກເຮົາມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນວັດສະດຸ semiconductor ສໍາລັບເວລາຫຼາຍປີ. ການອອກແບບຫຼາຍ porosity ຂອງຫົວອາບນ້ໍາອາຍແກັສ VeTek Semiconductor ຮັບປະກັນວ່າຄວາມຮ້ອນທີ່ຜະລິດໃນຂະບວນການ CVD ສາມາດກະຈາຍໄດ້. , ຮັບປະກັນວ່າຊັ້ນໃຕ້ດິນໄດ້ຮັບຄວາມຮ້ອນເທົ່າທຽມກັນ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະຕັ້ງໄລຍະຍາວກັບທ່ານໃນປະເທດຈີນ.

ອ່ານຕື່ມ ສົ່ງສອບຖາມ

ຂະບວນການ Deposition Vapor ເຄມີ Solid SiC Edge Ring

VeTek Semiconductor ເປັນຊັ້ນນໍາທາງ Chemical Vapor Deposition Process Solid SiC Edge Ring ຜູ້ຜະລິດແລະຜູ້ປະດິດສ້າງໃນ China.We ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນວັດສະດຸ semiconductor ສໍາລັບເວລາຫຼາຍປີ.VeTek Semiconductor solid SiC edge ring provides improved etching uniformity and precise wafer positioning when used with an electrostatic chuck , ຮັບປະກັນຜົນໄດ້ຮັບ etching ສອດຄ່ອງແລະເຊື່ອຖືໄດ້. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.

ອ່ານຕື່ມ ສົ່ງສອບຖາມ

ວົງການສຸມໃສ່ການຝັງຕົວແຂງ SiC

VeTek Semiconductor ເປັນຜູ້ຜະລິດ Solid SiC Etching Focusing Ring ຊັ້ນນໍາແລະຜູ້ປະດິດສ້າງໃນປະເທດຈີນ. ພວກເຮົາມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນວັດສະດຸ SiC ເປັນເວລາຫຼາຍປີ. Solid SiC ຖືກເລືອກເປັນວັດສະດຸວົງແຫວນທີ່ເນັ້ນຫນັກເນື່ອງຈາກຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງ thermochemical ທີ່ດີເລີດ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງແລະຄວາມຕ້ານທານກັບ plasma. erosion.ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະໄດ້ເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.

ອ່ານຕື່ມ ສົ່ງສອບຖາມ

<1 2 >

ໃນຖານະເປັນຜູ້ຜະລິດແລະຜູ້ສະຫນອງ ແຂງ Silicon Carbide ມືອາຊີບໃນປະເທດຈີນ, ພວກເຮົາມີໂຮງງານຜະລິດຂອງພວກເຮົາເອງ. ບໍ່ວ່າທ່ານຕ້ອງການບໍລິການທີ່ກໍາຫນົດເອງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງພາກພື້ນຂອງທ່ານຫຼືຕ້ອງການຊື້ ແຂງ Silicon Carbide ທີ່ກ້າວຫນ້າແລະທົນທານທີ່ຜະລິດໃນປະເທດຈີນ, ທ່ານສາມາດຝາກຂໍ້ຄວາມໃຫ້ພວກເຮົາ.