TaC Coating Spare Part

VeTek Semiconductorແຜ່ນເຄືອບ TaCເປັນວັດສະດຸພິເສດທີ່ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນsemiconductorຂະບວນການຜະລິດ. ປະສົມປະສານກັບຄວາມແຂງສູງແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່, ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ຄ່າສໍາປະສິດ friction ຕ່ໍາແລະການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ, TaC Coating Plate ມີບົດບາດ irreplaceable ໃນການເຊື່ອມຕໍ່ຈໍານວນຫຼາຍຂອງການປຸງແຕ່ງ semiconductor.

ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງແຜ່ນເຄືອບ TaCໃນ​ການ​ປຸງ​ແຕ່ງ semiconductor ມີ​ດັ່ງ​ນີ້​:

ແຜ່ນຍ່ອຍການຂະຫຍາຍຕົວ CVD/ALD: ຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີແລະຄ່າສໍາປະສິດ friction ຕ່ໍາຂອງແຜ່ນເຄືອບ TaC ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມ CVD / ALD substrates ການຂະຫຍາຍຕົວ. ມັນສາມາດສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ຫມັ້ນຄົງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຮູບເງົາ.

ແຜ່ນຜ້າອັດດັງ: ຄວາມແຂງສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນຂອງແຜ່ນເຄືອບ TaC ເຮັດໃຫ້ມັນສາມາດທົນທານຕໍ່ຂະບວນການພະລັງງານສູງເຊັ່ນ: plasma etching, ເປັນແຜ່ນຫນ້າກາກ etching, ປົກປ້ອງຮູບເງົາທີ່ຕິດພັນ.

ແຜ່ນຂັດ CMP: ຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ແລະຄ່າສໍາປະສິດ friction ຕ່ໍາຂອງແຜ່ນເຄືອບ TaC ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການ pads ຂັດ CMP, ປະສິດທິພາບສາມາດກໍາຈັດອະນຸພາກແລະຂໍ້ບົກພ່ອງໃນດ້ານຂອງຮູບເງົາໄດ້.

ທໍ່ furnace ອຸນຫະພູມສູງ: ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ຂອງແຜ່ນເຄືອບ TaC ເຮັດໃຫ້ມັນສາມາດນໍາໃຊ້ເປັນທໍ່ furnace ໃນ furnace ອຸນຫະພູມສູງສໍາລັບການ annealing ອຸນຫະພູມສູງ, ການແຜ່ກະຈາຍແລະຂະບວນການອື່ນໆ.

ສົມທົບກັບຄຸນລັກສະນະຜະລິດຕະພັນຂອງແຜ່ນເຄືອບ TaC, ມັນກໍານົດວ່າຜະລິດຕະພັນນີ້ມີບົດບາດສໍາຄັນ irreplaceable ໃນການປັບປຸງປະສິດທິພາບອຸປະກອນ, ການຍືດອາຍຸອຸປະກອນແລະການປັບປຸງປະສິດທິພາບການຜະລິດ. 

ໃນຖານະເປັນຜູ້ຜະລິດມືອາຊີບຂອງGaN ເທິງຕົວຮັບ SiC epi, Porous Graphiteແລະແຜ່ນເຄືອບ TaCໃນປະເທດຈີນ, VeTek Semiconductor ສະເຫມີຢືນຢັນການໃຫ້ບໍລິການຜະລິດຕະພັນທີ່ກໍາຫນົດເອງ, ແລະມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງອຸດສາຫະກໍາທີ່ມີເຕັກໂນໂລຢີຊັ້ນນໍາແລະການແກ້ໄຂຜະລິດຕະພັນ. ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະໃຫ້ຄໍາປຶກສາເພີ່ມເຕີມຂອງທ່ານ.

CVD TAC COATING ຕົວກໍານົດການດ້ານວິຊາການ：

ຮ້ານຂາຍອາໄຫຼ່ລົດເຄືອບດິນເຜົາ TaC Coating：

ພາບລວມຂອງລະບົບຕ່ອງໂສ້ອຸດສາຫະກໍາຊິບ semiconductor epitaxy：