ຜູ້ຮັບ EPI

EPI susceptor ຂອງ VeTek Semiconductor ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກອຸປະກອນ epitaxial ທີ່ຕ້ອງການ. ໂຄງສ້າງ graphite ເຄືອບຊິລິໂຄນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (SiC) ຂອງມັນສະຫນອງການທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຄວາມທົນທານຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ສອດຄ່ອງສໍາລັບຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຊັ້ນ epitaxial ທີ່ສອດຄ່ອງ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ຍາວນານ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະໄດ້ຮ່ວມມືກັບທ່ານ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

VeTek Semiconductor ເປັນຜູ້ນໍາມືອາຊີບຂອງຈີນ EPI receiver, ALD Planetary Receiver ແລະຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງຮັບ Graphite ເຄືອບ TaC. ແລະ susceptor EPI ຂອງພວກເຮົາເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນຂອງການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxialໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ຫນ້າທີ່ຕົ້ນຕໍຂອງມັນແມ່ນສະຫນັບສະຫນູນແລະໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງ wafer ເພື່ອໃຫ້ຊັ້ນ epitaxial ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສາມາດປູກໄດ້ຢ່າງເທົ່າທຽມກັນໃນດ້ານ wafer.

EPI susceptors ຂອງ VeTek Semiconductors ປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນເຮັດດ້ວຍ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະເຄືອບດ້ວຍຊັ້ນຂອງ silicon carbide (SiC).ການອອກແບບນີ້ມີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສໍາຄັນຕໍ່ໄປນີ້:

● ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ: EPI susceptor ສາມາດຄົງທີ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ຮັບປະກັນການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ເປັນເອກະພາບຂອງຊັ້ນ epitaxial.

● ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ການເຄືອບ SiC ມີຄວາມຕ້ານທານ corrosion ທີ່ດີເລີດແລະສາມາດຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນຂອງອາຍແກັສເຄມີ, ຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງຖາດ.

● ການນໍາຄວາມຮ້ອນ: ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງຂອງວັດສະດຸ SiC ຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບຂອງ wafer ໃນລະຫວ່າງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ, ດັ່ງນັ້ນການປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນ epitaxial.

● ການຈັບຄູ່ສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ: ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງ SiC ແມ່ນຄ້າຍຄືກັນກັບຂອງ graphite, ຫຼີກເວັ້ນບັນຫາການຫຼົ່ນລົງຂອງເຄືອບເນື່ອງຈາກການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນແລະການຫົດຕົວ.