VeTek Semiconductor ເປັນຜູ້ຜະລິດມືອາຊີບແລະຜູ້ສະຫນອງແຫວນຄູ່ມືການເຄືອບ TaC, ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ SiC wafer ຕາມແນວນອນ, ແລະຕົວຍຶດເຄືອບ SiC ໃນປະເທດຈີນ. ພວກເຮົາມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນດ້ານວິຊາການທີ່ສົມບູນແບບແລະການແກ້ໄຂຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ຍິນດີຕ້ອນຮັບຕິດຕໍ່ພວກເຮົາ.
VeTek Semiconductor ຂອງຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ SiC Wafer ຕາມແນວນອນ/ ເຮືອມີຈຸດ melting ສູງທີ່ສຸດ (ປະມານ 2700 ° C), ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ໄດ້ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ SiC Wafer ຕາມແນວນອນ/ ເຮືອເຮັດວຽກຢ່າງຫມັ້ນຄົງໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງໂດຍບໍ່ມີການຜິດປົກກະຕິຫຼືການເຊື່ອມໂຊມ. ຄຸນນະສົມບັດນີ້ແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການເຊັ່ນ: ການຫມຸນອຸນຫະພູມສູງຫຼືການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD).
ໄດ້ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ SiC Wafer ຕາມແນວນອນ/ ເຮືອໂດຍສະເພາະມີບົດບາດຕໍ່ໄປນີ້ໃນຂະບວນການຂົນສົ່ງ wafer:
Silicon wafer ປະຕິບັດແລະສະຫນັບສະຫນູນ: The Horizontal SiC Wafer Boat ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອປະຕິບັດແລະສະຫນັບສະຫນູນ silicon wafers ໃນລະຫວ່າງການຜະລິດ semiconductor. ມັນສາມາດຈັດແຈງ wafers ຊິລິໂຄນຫຼາຍອັນຮ່ວມກັນເພື່ອຮັບປະກັນວ່າພວກມັນຍັງຄົງຢູ່ໃນຕໍາແຫນ່ງທີ່ດີແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຕະຫຼອດຂະບວນການປຸງແຕ່ງທັງຫມົດ.
ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນທີ່ເປັນເອກະພາບ: ເນື່ອງຈາກການນໍາຄວາມຮ້ອນຂອງ SiC ສູງ, ເຮືອ Wafer ສາມາດກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດຕິຜົນກັບ wafers ຊິລິຄອນທັງຫມົດ. ນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ບັນລຸການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບຫຼືຄວາມເຢັນຂອງ wafers ຊິລິໂຄນໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຂະບວນການປຸງແຕ່ງ.
ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນ: ຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີຂອງ SiC ເຮັດໃຫ້ມັນສາມາດປະຕິບັດໄດ້ດີໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອາຍແກັສທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະ corrosive, ດັ່ງນັ້ນການຫຼຸດຜ່ອນການສໍາຜັດຂອງ silicon wafers ທີ່ເປັນໄປໄດ້ຫຼື reactants, ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດແລະຄຸນນະພາບຂອງ silicon wafers.
ໃນຄວາມເປັນຈິງ, Horizontal SiC Wafer Boat ສາມາດມີບົດບາດຂ້າງເທິງນີ້ເນື່ອງຈາກຄຸນລັກສະນະຂອງຜະລິດຕະພັນທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງມັນ:
ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີທີ່ດີເລີດ: ວັດສະດຸ SiC ມີຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນທີ່ດີເລີດຕໍ່ຄວາມຫລາກຫລາຍຂອງສື່ສານເຄມີ. ໃນຂະບວນການປຸງແຕ່ງກ໊າຊ corrosive ຫຼືຂອງແຫຼວ, SiC Wafer Boat ສາມາດຕ້ານການ corrosion ສານເຄມີຢ່າງມີປະສິດທິພາບແລະປົກປ້ອງ silicon wafers ຈາກການປົນເປື້ອນຫຼືຄວາມເສຍຫາຍ.
ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ: ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງຂອງ SiC ຊ່ວຍກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໃນຂະບວນການຂົນສົ່ງ ແລະຫຼຸດຜ່ອນການສະສົມຄວາມຮ້ອນ. ນີ້ສາມາດປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຮັບປະກັນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຫຼືຄວາມເຢັນຂອງ wafers ຊິລິຄອນ.
ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ: ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາຂອງວັດສະດຸ SiC ຫມາຍຄວາມວ່າການປ່ຽນແປງທາງມິຕິຂອງ SiC Wafer Boat ມີຂະຫນາດນ້ອຍຫຼາຍໃນລະຫວ່າງການປ່ຽນອຸນຫະພູມ. ນີ້ຊ່ວຍຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງໃນອຸນຫະພູມສູງແລະປ້ອງກັນການຜິດປົກກະຕິຫຼືການຍ້າຍຕໍາແຫນ່ງຂອງ wafers ຊິລິໂຄນທີ່ເກີດຈາກການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ.
ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ SiC Wafer ຕາມແນວນອນ:
ຮ້ານຜະລິດເຊມິຄອນດັກເຕີ VeTek:
ພາບລວມຂອງລະບົບຕ່ອງໂສ້ອຸດສາຫະກໍາຊິບ semiconductor epitaxy: