ຈີນ ເຕັກໂນໂລຊີ MOCVD ຜູ້ຜະລິດ, ຜູ້ສະໜອງ, ໂຮງງານ

VeTek Semiconductor ມີຄວາມໄດ້ປຽບແລະປະສົບການໃນອາໄຫຼ່ຂອງ MOCVD Technology.

MOCVD, ຊື່ເຕັມຂອງ Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (Metal-organic Chemical Vapor Deposition), ຍັງສາມາດເອີ້ນວ່າ metal-organic vapor phase epitaxy. ທາດປະສົມອົງຄະທາດເປັນປະເພດທາດປະສົມທີ່ມີພັນທະບັດໂລຫະ-ກາກບອນ. ທາດປະສົມເຫຼົ່ານີ້ມີຢ່າງຫນ້ອຍຫນຶ່ງພັນທະນາການທາງເຄມີລະຫວ່າງໂລຫະແລະປະລໍາມະນູກາກບອນ. ທາດປະສົມໂລຫະ-ອິນຊີມັກຈະຖືກໃຊ້ເປັນທາດຄາຣະວາ ແລະສາມາດສ້າງເປັນຮູບເງົາບາງໆ ຫຼືໂຄງສ້າງ nanostructures ເທິງຊັ້ນໃຕ້ດິນໄດ້ໂດຍຜ່ານເຕັກນິກການຊຶມເຊື້ອຕ່າງໆ.

ການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີຂອງໂລຫະ - ອິນຊີ (ເຕັກໂນໂລຍີ MOCVD) ແມ່ນເຕັກໂນໂລຢີການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial ທົ່ວໄປ, ເຕັກໂນໂລຢີ MOCVD ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດເລເຊີ semiconductor ແລະ leds. ໂດຍສະເພາະໃນເວລາທີ່ການຜະລິດນໍາ, MOCVD ເປັນເຕັກໂນໂລຊີທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການຜະລິດຂອງ gallium nitride (GaN) ແລະວັດສະດຸທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ.

ມີສອງຮູບແບບຕົ້ນຕໍຂອງ Epitaxy: Liquid Phase Epitaxy (LPE) ແລະ Vapor Phase Epitaxy (VPE). epitaxy ໄລຍະອາຍແກັສສາມາດແບ່ງອອກຕື່ມອີກເປັນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີຂອງໂລຫະ - ອິນຊີ (MOCVD) ແລະ molecular beam epitaxy (MBE).

ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນຕ່າງປະເທດສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນເປັນຕົວແທນໂດຍ Aixtron ແລະ Veeco. ລະບົບ MOCVD ແມ່ນຫນຶ່ງໃນອຸປະກອນທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການຜະລິດ lasers, leds, ອົງປະກອບ photoelectric, ພະລັງງານ, ອຸປະກອນ RF ແລະຈຸລັງແສງຕາເວັນ.

ລັກສະນະຕົ້ນຕໍຂອງອາໄຫຼ່ເຕັກໂນໂລຢີ MOCVD ທີ່ຜະລິດໂດຍບໍລິສັດຂອງພວກເຮົາ:

1) ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງແລະການຫຸ້ມຫໍ່ຢ່າງເຕັມທີ່: ພື້ນຖານ graphite ທັງຫມົດແມ່ນຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກ corrosive, ພື້ນຜິວຕ້ອງໄດ້ຮັບການຫໍ່ຢ່າງເຕັມສ່ວນ, ແລະການເຄືອບຈະຕ້ອງມີຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ດີທີ່ຈະມີບົດບາດປ້ອງກັນທີ່ດີ.

2) ຄວາມຮາບພຽງຢູ່ດ້ານດີ: ເນື່ອງຈາກພື້ນຖານກຣາຟຟິກທີ່ໃຊ້ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຜລຶກດຽວຕ້ອງການຄວາມຮາບພຽງຢູ່ດ້ານທີ່ສູງ, ຄວາມຮາບພຽງຂອງພື້ນຖານຄວນໄດ້ຮັບການຮັກສາໄວ້ຫຼັງຈາກການກະກຽມການເຄືອບ, ນັ້ນແມ່ນ, ຊັ້ນເຄືອບຕ້ອງມີຄວາມເປັນເອກະພາບ.

3) ຄວາມທົນທານຂອງຄວາມຜູກພັນທີ່ດີ: ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງພື້ນຖານ graphite ແລະວັດສະດຸເຄືອບ, ເຊິ່ງສາມາດປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງຄວາມຜູກພັນລະຫວ່າງສອງຢ່າງ, ແລະການເຄືອບບໍ່ງ່າຍທີ່ຈະແຕກຫຼັງຈາກປະສົບກັບຄວາມຮ້ອນຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະຕ່ໍາ. ຮອບວຽນ.

4) ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ: ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊິບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີພື້ນຖານ graphite ເພື່ອໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ໄວແລະເປັນເອກະພາບ, ດັ່ງນັ້ນວັດສະດຸເຄືອບຄວນຈະມີຄວາມຮ້ອນສູງ.

5) ຈຸດ melting ສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion: ການເຄືອບຄວນຈະສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງຫມັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກ corrosive.

ວາງຮອງພື້ນ 4 ນິ້ວ
epitaxy ສີຂຽວສີຟ້າສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວ LED
ຕັ້ງຢູ່ໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາ
ຕິດຕໍ່ໂດຍກົງກັບ wafer ໄດ້ ວາງຮອງພື້ນ 4 ນິ້ວ
ໃຊ້ເພື່ອປູກຮູບເງົາ UV LED epitaxial
ຕັ້ງຢູ່ໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາ
ຕິດຕໍ່ໂດຍກົງກັບ wafer ໄດ້ ເຄື່ອງ Veeco K868/Veeco K700
ສີຂາວ LED epitaxy / ສີຟ້າສີຂຽວ LED epitaxy ໃຊ້ໃນອຸປະກອນ VEECO
ສໍາລັບ MOCVD Epitaxy
SiC Coating Susceptor Aixtron TS ອຸປະກອນ
Deep Ultraviolet Epitaxy
Substrate 2 ນິ້ວ ອຸປະກອນ Veeco
ສີແດງ-ສີເຫຼືອງ LED Epitaxy
4 ນິ້ວ Wafer Substrate TaC Coated Susceptor
(SiC Epi/ເຄື່ອງຮັບແສງ UV LED) SiC coated Susceptor
(ALD/ Si Epi/ LED MOCVD Susceptor)