SiC coating Monocrystalline silicon tray epitaxial ເປັນອຸປະກອນເສີມທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບ monocrystalline silicon epitaxial furnace ການຂະຫຍາຍຕົວ, ຮັບປະກັນມົນລະພິດຫນ້ອຍແລະສະພາບແວດລ້ອມການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial ທີ່ຫມັ້ນຄົງ. ການເຄືອບ SiC ຂອງ VeTek Semiconductor Monocrystalline silicon tray epitaxial ມີອາຍຸການບໍລິການທີ່ຍາວນານແລະສະຫນອງທາງເລືອກການປັບແຕ່ງທີ່ຫລາກຫລາຍ. VeTek Semiconductor ຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.
ການເຄືອບ SiC ຂອງ VeTek semiconductor Monocrystalline silicon epitaxy tray ຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດສໍາລັບການຈະເລີນເຕີບໂຕຂອງ epitaxial monocrystalline silicon ແລະມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການນໍາໃຊ້ອຸດສາຫະກໍາຂອງ monocrystalline silicon epitaxy ແລະອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ.ການເຄືອບ SiCບໍ່ພຽງແຕ່ປັບປຸງຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ຂອງຖາດ, ແຕ່ຍັງຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວແລະການປະຕິບັດທີ່ດີເລີດໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ.
● ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ: ການເຄືອບ SiC ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍປັບປຸງຄວາມສາມາດໃນການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນຂອງຖາດແລະສາມາດກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ຜະລິດໂດຍອຸປະກອນທີ່ມີພະລັງງານສູງຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.
● ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ການເຄືອບ SiC ປະຕິບັດໄດ້ດີໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມ corrosive, ຮັບປະກັນຊີວິດການບໍລິການໃນໄລຍະຍາວແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື.
● ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງພື້ນຜິວ: ສະຫນອງພື້ນຜິວທີ່ຮາບພຽງແລະລຽບ, ປະສິດທິຜົນຫຼີກເວັ້ນຄວາມຜິດພາດການຜະລິດທີ່ເກີດຈາກຄວາມບໍ່ສະເຫມີພາບຂອງຫນ້າດິນແລະຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial.
ອີງຕາມການຄົ້ນຄວ້າ, ໃນເວລາທີ່ຂະຫນາດ pore ຂອງ substrate graphite ແມ່ນລະຫວ່າງ 100 ແລະ 500 nm, ການເຄືອບ gradient SiC ສາມາດກະກຽມໃນ substrate graphite ໄດ້, ແລະການເຄືອບ SiC ມີຄວາມສາມາດຕ້ານການຜຸພັງທີ່ເຂັ້ມແຂງ. ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງຂອງສານເຄືອບ SiC ເທິງ graphite ນີ້ (ເສັ້ນໂຄ້ງສາມຫຼ່ຽມ) ແມ່ນເຂັ້ມແຂງຫຼາຍກ່ວາລັກສະນະອື່ນໆຂອງ graphite, ເຫມາະສົມກັບການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxy ຊິລິໂຄນ crystal ດຽວ. ການເຄືອບ SiC ຂອງ VeTek Semiconductor Monocrystalline silicon tray epitaxial ໃຊ້ SGL graphite ເປັນsubstrate graphite, ເຊິ່ງສາມາດບັນລຸການປະຕິບັດດັ່ງກ່າວ.
ການເຄືອບ SiC ຂອງ VeTek Semiconductor Monocrystalline silicon tray epitaxial ໃຊ້ວັດສະດຸທີ່ດີທີ່ສຸດແລະເຕັກໂນໂລຢີການປຸງແຕ່ງທີ່ກ້າວຫນ້າທີ່ສຸດ. ສິ່ງທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດ, ບໍ່ວ່າລູກຄ້າຕ້ອງການການປັບແຕ່ງຜະລິດຕະພັນໃດກໍ່ຕາມ, ພວກເຮົາສາມາດເຮັດດີທີ່ສຸດເພື່ອຕອບສະຫນອງພວກເຂົາ.
ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງການເຄືອບ CVD SiC
ຊັບສິນ
ຄ່າປົກກະຕິ
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ
FCC βໄລຍະ polycrystalline, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນ (111) ຮັດກຸມ
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ
3.21 g/cm³
ຄວາມແຂງ
ຄວາມແຂງຂອງ Vickers 2500 (ໂຫຼດ 500g)
ເມັດສີze
2-10 ມມ
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ
99.99995%
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ
640 J·kg-1· ຄ-1
ອຸນຫະພູມ sublimation
2700℃
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural
415 MPa RT 4 ຈຸດ
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ
430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ
300W·m-1· ຄ-1
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE)
4.5×10-6K-1