silicon carbide ceramic coating heater graphite

ໃນຖານະເປັນຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ graphite ceramic ເຄືອບ silicon carbide ມືອາຊີບແລະຜູ້ສະຫນອງໃນປະເທດຈີນ, Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater ເປັນເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ເຮັດດ້ວຍຊັ້ນໃຕ້ດິນ graphite ແລະເຄືອບດ້ວຍ silicon carbon ceramic (SiC) coating ເທິງຫນ້າດິນຂອງມັນ. ດ້ວຍການອອກແບບວັດສະດຸປະສົມຂອງມັນ, ຜະລິດຕະພັນນີ້ສະຫນອງການແກ້ໄຂຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດໃນການຜະລິດ semiconductor. ຍິນດີຕ້ອນຮັບການສອບຖາມຂອງທ່ານ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heaterປະສົມປະສານການນໍາທາງໄຟຟ້າແລະຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຂອງ graphite ກັບຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ຂອງ silicon carbon ceramic coating, ແລະໄດ້ຖືກອອກແບບສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ semiconductor harsh.

ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ graphite ເຄືອບຊິລິໂຄນ carbide ceramicສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນອຸປະກອນການເຄືອບສູນຍາກາດ (ການລະເຫີຍ), ແລະວິທີການທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປແມ່ນ PCD (Plasma Chemical Drying) ແລະ PVD (ການລະບາຍອາຍພິດທາງກາຍະພາບ). ຜະລິດຕະພັນນີ້ໄດ້ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການສົ່ງເສີມຄວາມກ້າວຫນ້າທາງດ້ານເຕັກໂນໂລຢີແລະການປັບປຸງປະສິດທິພາບການຜະລິດໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະຮ່ວມມືກັບເຈົ້າຕື່ມອີກ.

ລັກສະນະວັດສະດຸແລະໂຄງສ້າງຂອງ Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater ມີດັ່ງນີ້:

ແຜ່ນຮອງ Graphite: Graphite ແມ່ນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ. ມັນສາມາດຕອບສະຫນອງໄດ້ໄວຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມແລະຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງໃນອຸນຫະພູມສູງ.

ການເຄືອບຊິລິໂຄນຄາບອນເຊລາມິກ: ການເຄືອບ SiC ແມ່ນເຄືອບຢ່າງເທົ່າທຽມກັນໃນດ້ານ graphite ໂດຍຜ່ານການປ່ອຍອາຍພິດສານເຄມີຫຼືຂະບວນການກ້າວຫນ້າທາງດ້ານອື່ນໆ. SiC ມີຄວາມແຂງສູງແລະທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີ, ເຊິ່ງສາມາດປົກປ້ອງ substrate graphite ຈາກການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ກັດກ່ອນ.

ການອອກແບບໂຄງສ້າງຜະລິດຕະພັນພິເສດຂອງ Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater ກໍານົດຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງຜະລິດຕະພັນ irreplaceable ຂອງຜະລິດຕະພັນນີ້ໃນຂະບວນການປຸງແຕ່ງ semiconductor:

ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະເປັນເອກະພາບ:

ການນໍາຄວາມຮ້ອນ: ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງຂອງ graphite ເຮັດໃຫ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນສາມາດບັນລຸໄດ້ໄວແລະຮັກສາອຸນຫະພູມທີ່ກໍານົດໄວ້, ແລະການເຄືອບ SiC ຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍຂອງຄວາມຮ້ອນເປັນເອກະພາບ. ນີ້ແມ່ນສິ່ງສໍາຄັນໂດຍສະເພາະສໍາລັບຂະບວນການ semiconductor ທີ່ຕ້ອງການການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນ, ເຊັ່ນ: ການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ (RTP) ແລະການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD).

ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງອຸນຫະພູມ: ໂດຍຜ່ານການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ, Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນແລະ gradient ອຸນຫະພູມຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງແລະສະຖຽນລະພາບທີ່ມີຄຸນນະພາບຂອງ semiconductor wafers ຕະຫຼອດຂະບວນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ.

ປ້ອງກັນການກັດກ່ອນ:

ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ: ການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີຂອງສານເຄືອບ SiC ຊ່ວຍໃຫ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງຫມັ້ນຄົງແລະເປັນເວລາດົນນານໃນອາຍແກັສ corrosive ແລະສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີ, ຫຼີກເວັ້ນການທໍາລາຍ substrate graphite. ຄຸນນະສົມບັດນີ້ແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການເຊັ່ນ: ການຝາກ vapor ສານເຄມີ (CVD) ແລະ plasma vapor deposition ສານເຄມີ (PECVD).

ຕ້ານການອອກຊິເຈນ: ໃນອຸນຫະພູມສູງ, ການເຄືອບ SiC ສາມາດປ້ອງກັນການຜຸພັງຂອງ substrate graphite, ຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ, ແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຮັກສາອຸປະກອນ.

ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ:

ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງພື້ນຜິວ: ການເຄືອບ SiC ບໍ່ພຽງແຕ່ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່, ແຕ່ຍັງປ້ອງກັນອະນຸພາກຈາກການຫຼຸດລົງອອກຈາກພື້ນຜິວຂອງວັດສະດຸເນື່ອງຈາກວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຫຼືປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີ, ດັ່ງນັ້ນການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກທີ່ອາດຈະເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການຜະລິດ semiconductor ແລະຮັບປະກັນສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການທີ່ສະອາດສູງ.

ປັບປຸງຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຂະບວນການແລະປະສິດທິພາບ:

ການອອກແບບຊີວິດຍາວ: ເນື່ອງຈາກການປະສົມປະສານຂອງຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກຂອງ graphite ແລະການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ຂອງການເຄືອບ SiC, Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater ສາມາດຮັກສາການດໍາເນີນງານທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງເປັນເວລາດົນນານພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂຂະບວນການ harsh, ປັບປຸງຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໂດຍລວມຂອງອຸປະກອນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ການນໍາໃຊ້ພະລັງງານປະສິດທິພາບ: ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງຂອງ graphite ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງຂອງການເຄືອບ SiC ຊ່ວຍໃຫ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນຫຼຸດຜ່ອນການບໍລິໂພກພະລັງງານໃນຂະນະທີ່ການປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ, ດັ່ງນັ້ນການປັບປຸງປະສິດທິພາບລວມຂອງການຜະລິດ semiconductor.

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງSilicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater: