ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບເຊລາມິກ silicon carbide

VeTek Semiconductorເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບເຊລາມິກ Silicon Carbide ແມ່ນເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ. ມັນເຄືອບຊັ້ນຂອງຊິລິໂຄນຄາບອນເຄືອບເຊລາມິກ (SiC) ເທິງຫນ້າດິນຂອງອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນເພື່ອໃຫ້ອຸປະກອນການຕໍ່ຕ້ານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ແລະ conductivity ຄວາມຮ້ອນ. 

ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບເຊລາມິກ Silicon carbideສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນການເຄືອບສູນຍາກາດ (evaporation) ອຸປະກອນ. ວິທີການທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປແມ່ນ PCD (Plasma Chemical Drying) ແລະ PVD (ການລະບາຍອາຍພິດທາງກາຍະພາບ), ເຊິ່ງຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດ semiconductor ແລະການນໍາໃຊ້ອຸດສາຫະກໍາອື່ນໆທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການສູງ.

ປະສົມປະສານກັບການອອກແບບການເຄືອບທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບເຊລາມິກ Silicon Carbide,ມັນສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດສໍາລັບຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.

ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ: ວັດສະດຸ SiC ມີການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຮັບປະກັນວ່າເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນສາມາດບັນລຸການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບໃນພື້ນທີ່ເຮັດວຽກແລະຫຼຸດຜ່ອນ gradients ອຸນຫະພູມ.

ສະຫນອງການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ: ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບເຊລາມິກ Silicon Carbide ໃຊ້ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງຂອງວັດສະດຸ SiC ເພື່ອບັນລຸການກະຈາຍອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວພື້ນທີ່ໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ. ນີ້ແມ່ນສິ່ງສໍາຄັນເພື່ອຮັບປະກັນການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບຂອງ wafers semiconductor ໃນຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ (RTP), ການແຜ່ກະຈາຍແລະການຜຸພັງ, ຫຼີກເວັ້ນການຜິດປົກກະຕິຂອງຜະລິດຕະພັນທີ່ເກີດຈາກຄວາມຮ້ອນເກີນໄປໃນທ້ອງຖິ່ນຫຼືອຸນຫະພູມທີ່ບໍ່ສະຫມໍ່າສະເຫມີ.

ຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ: ການເຄືອບ SiC ຊ່ວຍໃຫ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ສູງທີ່ສຸດ, ໂດຍປົກກະຕິເຖິງ 1600 ° C, ເຫມາະສໍາລັບຂະບວນການປຸງແຕ່ງທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຕ່າງໆ.

ປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ: ເນື່ອງຈາກວ່າການເຄືອບສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ສູງທີ່ສຸດ, ມັນປະຕິບັດໄດ້ດີໃນຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການການດໍາເນີນງານໃນໄລຍະຍາວຂອງອຸນຫະພູມສູງ. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ໃນຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD), ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບເຊລາມິກ Silicon Carbide ສາມາດຮັບປະກັນການດໍາເນີນງານທີ່ຫມັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວຂອງອຸປະກອນໃນອຸນຫະພູມສູງແລະຮັກສາການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ສອດຄ່ອງ, ດັ່ງນັ້ນການປັບປຸງຂະບວນການຊ້ໍາກັນແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື.

ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ເຄມີ: ການເຄືອບ SiC ມີຄວາມຕ້ານທານສູງທີ່ສຸດຕໍ່ອາຊິດ, alkali ແລະທາດອາຍຜິດ corrosive, ແລະສາມາດຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງເປັນເວລາດົນນານໃນສະພາບແວດລ້ອມບັນຍາກາດເຄມີສະລັບສັບຊ້ອນ, ຍືດອາຍຸຂອງອຸປະກອນ. 

ຂະຫຍາຍຊີວິດຂອງອຸປະກອນ: ການເຄືອບ SiC ມີຄວາມຕ້ານທານ oxidation ທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ແລະປະສິດທິພາບສາມາດຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນຂອງສານເຄມີແລະການຜຸພັງໃນອຸນຫະພູມສູງ. ນີ້ເປັນສິ່ງສໍາຄັນຫຼາຍໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ໂດຍສະເພາະໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຈັດການກັບອາຍແກັສ corrosive ແລະສານເຄມີ. ຜົນກະທົບປ້ອງກັນຂອງການເຄືອບສາມາດຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນອຸປະກອນແລະການບໍາລຸງຮັກສາ.

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບເຊລາມິກ silicon carbide:

VeTek Semiconductor silicon carbide ຮ້ານເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບເຊລາມິກ:

ພາບລວມຂອງລະບົບຕ່ອງໂສ້ອຸດສາຫະ ກຳ chip epitaxy ຂອງ VeTek semiconductor: