ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ VEECO MOCVD

ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ VEECO MOCVD ຂອງ VeTeksemi ແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸກຼາຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ມີເນື້ອໃນ impurity ຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດຕ່ໍາກວ່າ 5 ppm, ແລະເຄືອບດ້ວຍ silicon carbide (SiC) ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດ 99.99995%.ຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD).. ການປະສົມປະສານຂອງວັດສະດຸນີ້ເຮັດໃຫ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນຊຸດຂອງຄຸນສົມບັດທີ່ສໍາຄັນທີ່ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ດີເລີດໃນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີຂອງໂລຫະ (MOCVD)ຂະ​ບວນ​ການ.

ຫນຶ່ງໃນລັກສະນະທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ VEECO MOCVD ແມ່ນຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີພິເສດຂອງມັນ. ແກນ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການນໍາສະເຫນີຂອງສິ່ງປົນເປື້ອນໃນຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ຮັບປະກັນຂະບວນການດູດຊຶມຮູບເງົາທີ່ສະອາດທີ່ສຸດ. ໄດ້ການເຄືອບ CVD SiCສະຫນອງການປົກປ້ອງເພີ່ມເຕີມສໍາລັບເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ, ສ້າງເປັນອຸປະສັກທີ່ເຂັ້ມແຂງເພື່ອປ້ອງກັນປະຕິກິລິຍາເຄມີທີ່ອາດຈະທໍາລາຍຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ. ຄວາມບໍລິສຸດທີ່ບໍ່ມີຕົວຕົນນີ້ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງແລະເຊື່ອຖືໄດ້.

ໃນເວລາດຽວກັນ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນສູງທີ່ສຸດ. SiC ມີຈຸດລະລາຍສູງແລະການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ເຮັດໃຫ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນສາມາດຈັດການແລະດໍາເນີນການຄວາມຮ້ອນໄດ້. ນີ້ຮັບປະກັນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວ substrate, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ບັນລຸການຝາກຮູບເງົາທີ່ເປັນເອກະພາບແລະຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ເກີດຈາກ gradients ຄວາມຮ້ອນ. ປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນດັ່ງກ່າວແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໂດຍສະເພາະສໍາລັບການຜະລິດຄວາມແມ່ນຍໍາ.

ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ VEECO MOCVD ຍັງດີເລີດໃນການປະຕິບັດໄຟຟ້າ. ແກນ graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງມັນມີການນໍາໄຟຟ້າທີ່ດີເລີດ, ຊ່ວຍໃຫ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນສາມາດຈັດການກັບຄວາມຕ້ອງການການໂຫຼດໄຟຟ້າສູງ. ການປະຕິບັດທາງໄຟຟ້າທີ່ຫມັ້ນຄົງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນສາມາດຮັກສາການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນແລະອັດຕາເງິນຝາກພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການໂຫຼດສູງ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນໃນການຮັບປະກັນເງື່ອນໄຂຂະບວນການທີ່ສອດຄ່ອງແລະປັບປຸງປະສິດທິພາບການຜະລິດ semiconductor.

ການອອກແບບຫນ້າດິນຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນໄດ້ຖືກປັບປຸງຢ່າງລະມັດລະວັງເພື່ອໃຫ້ມີ emissivity substrate ສູງ, ເຊິ່ງປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງການຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນ radiative ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ຄວາມ​ສາ​ມາດ​ເຮັດ​ໃຫ້​ຄວາມ​ຮ້ອນ​ເທົ່າ​ທຽມ​ກັນ​ເປັນ​ປັດ​ໄຈ​ທີ່​ສໍາ​ຄັນ​ໃນ​ການ​ຮັບ​ປະ​ກັນ​ຄວາມ​ຫນາ​ແຫນ້ນ​ຂອງ​ຮູບ​ເງົາ​ທີ່​ສອດ​ຄ້ອງ​ກັນ​ແລະ​ລັກ​ສະ​ນະ​. ການອອກແບບຫນ້າດິນ emissivity ສູງຍັງປັບປຸງປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນໂດຍລວມຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ, ດັ່ງນັ້ນການຫຼຸດຜ່ອນການບໍລິໂພກພະລັງງານແລະຫຼຸດລົງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດໍາເນີນງານ.

ໃນແງ່ຂອງຄວາມທົນທານ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ VEECO MOCVD ຂອງ VeTeksemi ສະແດງຄວາມທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ. ການເຄືອບ CVD SiC ສະຫນອງອຸປະສັກແຂງຕໍ່ກັບທາດອາຍຜິດ corrosive ແລະສານເຄມີທົ່ວໄປໃນຂະບວນການ MOCVD, ດັ່ງນັ້ນການຍືດອາຍຸຂອງອຸປະກອນແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ອງການບໍາລຸງຮັກສາແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທົດແທນ. ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງຂອງມັນຮັບປະກັນວ່າເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງໂດຍບໍ່ມີການເສື່ອມໂຊມປະສິດທິພາບ, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ MOCVD ຂອງ VeTeksemi ເຮັດໃຫ້ມັນສາມາດທົນທານຕໍ່ຄວາມກົດດັນທາງກາຍະພາບທີ່ສ້າງຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການວົງຈອນຄວາມຮ້ອນແລະການຈັດການ substrate. ຄວາມທົນທານຂອງມັນຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງກົນຈັກແລະຮັບປະກັນການດໍາເນີນງານທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂຂະບວນການທີ່ຮຸນແຮງ.

ໃນຖານະເປັນຜູ້ຜະລິດແລະຜູ້ສະຫນອງຜະລິດຕະພັນເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ VEECO MOCVD, VeTeksemi ຍັງສະຫນອງຜະລິດຕະພັນເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງຫຼາຍຊະນິດເຊັ່ນ:ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບ TaC, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບເຊລາມິກ silicon carbide graphite, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບເຊລາມິກ silicon carbide, ແລະອື່ນໆ VeTek Semiconductor ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງເຕັກໂນໂລຢີທີ່ກ້າວຫນ້າແລະປັບແຕ່ງແລະການແກ້ໄຂຜະລິດຕະພັນສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.